Правительство США предварительно выделило стартапу xLight $150 млн на разработку нового источника EUV-света для литографии. Компания разрабатывает лазер на свободных электронах (ЛСЭ), который может заменить традиционные источники LPP и работать с существующими сканерами ASML.
xLight, где исполнительным председателем стал бывший CEO Intel Пэт Гелсингер, планирует строить систему в Нанотехнологическом комплексе Олбани (Нью-Йорк). Компания утверждает, что, поскольку в устройстве отсутствует этап плазменного преобразования, оно обеспечивает более высокую яркость, более узкую спектральную ширину и фемтосекундные импульсы для более чёткого формирования изображения. Однако ещё предстоит доказать её работоспособность и пригодность для массового производства.
