Подписание договора на форуме «Микроэлектроника 2025»
На профессиональном форуме «Микроэлектроника 2025» состоялось подписание договора между Зеленоградским нанотехнологическим центром (ЗНТЦ) и компанией «Отраслевые решения» (группа «Элемент») о поставке первой отечественной установки фотолитографии с разрешением 350 нм.
Технические характеристики и назначение
Разработанная установка предназначена для проекционного переноса изображений с фотошаблонов на полупроводниковые пластины. Оборудование позволяет создавать сверхбольшие интегральные схемы с проектной топологической нормой 350 нм, что соответствует современным требованиям микроэлектронной промышленности.
Особенности проекта
Создание фотолитографа реализовано в рамках государственной программы по локализации производства микросхем в России. Проект реализован при участии белорусского предприятия ОАО «Планар». Установка предназначена для модернизации существующих и создания новых микроэлектронных производств.
Планы по развитию
По словам генерального директора ЗНТЦ Анатолия Ковалёва, успешное создание установки с разрешением 350 нм создаёт основу для разработки более совершенных отечественных литографов с нормами до 90 нм.
Области применения
Новая технология найдёт применение в следующих сферах:
- Производство силовой электроники
- Автомобильная электроника
- Промышленное оборудование
- Системы автоматического управления
Значение для отрасли
Создание собственного фотолитографа является важным шагом в развитии отечественной микроэлектроники. Проект демонстрирует возможности российской промышленности в разработке сложного технологического оборудования и способствует укреплению технологического суверенитета страны в сфере производства микроэлектроники.
Новость представлена ООО "Компанией "Элтикс"