Издание CNews* заинтересовалось заявлением ведущего инженера-технолога АО «ЗНТЦ» Виктора Абросимова, сделанным во время предконференции форума «Микроэлектроника». Специалист объявил о планах предприятия в 2028 году начать продажи отечественного литографа на 130 нм, со скоростью работы 160 пластин в час. Цена установки составит примерно $6 млн., что должно стать дешевле иностранных аналогов на 40-60%.
За экспертной оценкой новости издание Cnews обратилось к Ольге Квашенкиной, руководителю холдинга SNDGLOBAL. Приводим ответы эксперта.
Насколько конкурентна цена $6 млн. за литограф?
«В целом, – считает Ольга Квашенкина, – цена вполне потенциально конкурентная, но при двух очень важных условиях:
– если машина обеспечивает заявленные рабочие характеристики (реальное разрешение/overlay/uptime);
– если в пакет поставки включены сервис/запчасти/обеспечение ПО и калибровки.
На рынке есть широкий разброс цен: самые передовые сканеры (ASML High-NA/EUV) и даже старые иммерсионные платформы стоят сотни миллионов долларов. Массовые DUV/stepper-решения у Nikon/Canon для 200-мм/300-мм линий дают производительность в сотни пластин в час и позиционируются как «high-throughput», при этом производитель обычно не публикует розничную цену в открытом виде.
Для зрелых техпроцессов (>130 нм) поставляемые ранее отечественные и восстановленные зарубежные установки ценятся в пределах от нескольких миллионов до десятков миллионов долларов в зависимости от состояния и комплектации.
$6 млн выглядит конкурентным по сравнению с новой импортной техникой высокого уровня и может быть выгоднее новых сканеров, но не обязательно выгоднее хороших восстановленных шаговых систем».
Что вы скажите про заявленную скорость обработки пластин у российского литографа?
«160 пластин в час находится в диапазоне, который для DUV/stepper-оборудования можно считать средне-высоким: у отдельных i-line/DUV степперов Nikon и Canon в спецификациях встречаются значения порядка 100–200+ пластин/час (производительность зависит от модели, размера пластины и числа «шотов» на пластине).
Практическая пропускная способность на реальной фабрике будет меньше заявленной теоретической — из-за времени смены кассет, юстировки, простоя при обслуживании, количества снимков (shots) на пластине и сложности маски/процесса,» – ответила Ольга Квашенкина.
Какова потребность рынка РФ в таких установках? В чем таятся «минусы»?
«Потребность есть и растет, – считает Ольга Квашенкина, – государственные программы, инвестиции в расширение фабрик (включая проекты по 130 нм) и планы на наращивание доли отечественных чипов к 2030 году формируют реальную потребность в литографическом оборудовании зрелых норм.
В ряде компаний (например, на зеленоградских площадках и предприятии «Микрон») идут проекты на 130–180–250 нм, появляются большие капитальные вложения в fabs. Это создает спрос на машины класса 130 нм и сопутствующую инфраструктуру. Одновременно государство финансирует разработки и средства наладки для отечественных литографов.
В чем могут заключаться «минусы»:
1. Даже если сам степпер будет конкурентный, для производства нужны фотошаблоны (ретикулы), квалифицированные фоторезисты, газовая и химическая инфраструктура. Создание mask-shop для более тонких норм – капиталоемкая история.
Цены шаблонов и цена создания масочной фабрики остаются существенным фактором. Если у заказчика не будет надежного канала на маски и резисты, выигрыш по цене оборудования быстро «съедят» логистика и время вывода продукта на нормальную доходность.
2. Литограф – механооптическая система с критически точными узлами (оптика, источники света/лазеры, вакуум/охлаждение, системы позиционирования). Дешевая покупка без гарантированного сервисного сопровождения и склада критичных запасных частей – это путь к длительным простоям. Российский бюджет на создание средств наладки и калибровки уже выделялся, но этого пока недостаточно без зрелой сервисной сети.
3. Для 130 нм важны не только разрешение, но и стабильность оверлея, линейные и нелинейные аберрации, контроль фукуса и термической стабильности.
4. Поставки критичных компонентов (высокопроизводительных эксимерных лазеров, точной оптики, систем метрологии) под санкциями усложнены, это влияет на возможность серийного производства и поддержки».
Читайте полный текст аналитической статьи Cnews «Российский литограф будет стоить на 60% дешевле иностранных. Продажи стартуют через три года» по ссылке clck.ru/3PF7fR
*CNews — крупнейшее издание в сфере высоких технологий в России и странах СНГ.