В Новосибирском государственном университете представили новый цифровой двойник, который воспроизводит все этапы производства микроэлектроники для фотолитографии, сообщает ТАСС.
Фотолитография — ключевой способ нанесения рисунка на поверхность материалов, широко используемый для изготовления интегральных микросхем и печатных плат. Благодаря этой технологии формируются мельчайшие детали электронных устройств.
Как пояснил Михаил Марченко, руководитель проекта Центра искусственного интеллекта НГУ, цифровой двойник позволяет эффективно управлять всем процессом производства и собирает данные со специального оборудования.
Новая платформа даст предприятиям Новосибирска и Нижнего Новгорода инструменты для оптимизации и ускорения выпуска новых микросхем.
Разработанная модель цифрового двойника имитирует работу настоящего фотолитографа, который переносит изображения с фотошаблона на поверхность будущих микросхем. Такой подход позволяет полностью оцифровать все этапы, а компьютерное управление помогает предугадывать возможные поломки оборудования и заранее их предотвращать.
Марченко отметил, что цифровой двойник способен одновременно отслеживать и управлять десятками технологических параметров, тогда как человек ограничен несколькими ключевыми.
По оценкам учёных, это поможет значительно снизить время, необходимое для настройки производства и выбора оптимальных технологических режимов. В результате новая платформа ускорит внедрение инноваций и повысит эффективность работы предприятий микроэлектроники.
Новая технология позволит создать массовые квантовые чипы для вычислений и связи. Особое внимание учёные уделяют азот-вакансионным центрам кристаллов карбида кремния 6H, обладающим уникальными квантовыми свойствами.