Улучшение характеристик кубита трансмона с помощью поверхностной обработки на основе фтора В статье описывается, как обработка поверхности кремния под джозефсоновскими переходами с помощью двух видов влажного травления на основе фтора улучшает время релаксации энергии алюминиевых кубитов. Это позволяет снизить потери на микроволновом уровне и повысить качество работы сверхпроводящих кубитов. Использование методов анализа материалов показало, что такие обработки эффективно удаляют остатки германия, не нарушая общий процесс изготовления. arXiv: 2507.08089 Обзоры | Квантовая физика
Улучшение характеристик кубита трансмона с помощью поверхностной обработки на основе фтора
В статье описывается, как обработка поверхности кремния под джозефсоновскими переходами с помощью двух видов влажного травления на основе фтора улучшает время релаксации энергии алюминиевых кубитов. Это позволяет снизить потери на микроволновом уровне и повысить качество работы сверхпроводящих кубитов. Использование методов анализа материалов показало, что такие обработки эффективно удаляют остатки германия, не нарушая общий процесс изготовления.
arXiv: 2507.08089
