Влияние шероховатости поверхности на стабильность наноэлектромеханических датчиков давления в режиме Казимира
В статье рассматривается стабильность работы наноэлектромеханических датчиков давления в режиме Казимира с учётом шероховатости поверхностей мембраны датчика и опорной пластины. Показано, что стабильное положение равновесия мембраны почти не зависит от шероховатости, а нестабильное — сдвигается при увеличении расстояния между мембраной и пластиной. Обсуждается возможность использования этих результатов для создания более компактных датчиков давления.
arXiv: 2506.00179
