Создана сверхточная технология травления для индустрии полупроводников
Команда разработчиков из компании Lam Research представила первую в отрасли технологию твердотельного плазменного травления. В основе технологии лежит метод точного управления плазмой — электрически заряженным состоянием вещества, которое используется при производстве полупроводников. DirectDrive обещает беспрецедентную точность на уровне нескольких ангстремов, а также генерирует плазму с чувствительностью в 100 раз выше, чем у аналогов. В результате дефектов формирования рисунка при производстве полупроводников становится значительно меньше. На разработку технологии ушло 20 лет.
