Пьезовинт CoreMorrow может перемещаться до 26 мм с разрешением лучше, чем 20 нм на всем ходу. Он имеет номинальную нагрузку 25 Н и компактную конструкцию с дополнительной вакуумной версией и версией с замкнутым контуром, которая имеет превосходную долговременную стабильность и сохраняет заданное положение в случае отключения питания. Его можно использовать в сочетании с позиционирующими направляющими или зеркальным креплением для выполнения линейного или углового перемещения с характеристиками большого хода, высокой точности и хорошей стабильности. Платформа движения пьезовинта представляет собой комбинацию линейного двигателя пьезовинта и позиционирующих направляющих и использует высокоточное движение пьезовинта для управления движением позиционирующих направляющих, которое имеет высокую стабильность и высокую точность, и реализует точное позиционирование нанометрового уровня.
Платформа движения пьезо-винта N91.XYZTR4K может достигать движения по 6 осям X, Y, Z, θx, θy, θz, управляя несколькими пьезо-винтами и прецизионным алгоритмом, чтобы завершить высокоточное управление движением по 6 осям. Электронное управление более удобно и может достигать дистанционного управления. Оно может достигать смещения линейного движения 3 мм/ось и отклонения ±2°/ось. Оно тонкое и легко интегрируется. Продукт показан на следующем рисунке.
Характеристики
Активная ось: X, Y, Z, θx, θy, θz
Линейный ход: 3 мм/ось
Ход отклонения: ±2°/ось
Грузоподъемность: 1,2 кг
Самоблокировка в состоянии покоя
Версия с замкнутым контуром, доступна вакуумная версия
Применение
Испытание полупроводников
Контроль пластин
Наноотпечаток
Нанометрия
Промышленное точное позиционирование
Технические данные
Рекомендуемый контроллер
Пьезоконтроллер E53.C4K-H специально разработан для управления пьезовинтами и идеально подходит для управления платформой движения пьезовинта N91.XYZTR4K. Он имеет 4 выходных канала для управления 4 пьезовинтами с помощью программного обеспечения верхнего компьютера и подключен к пьезовинтам через сетевой порт. Он имеет компактную структуру, очень прост в интеграции.
Для получения более подробной информации свяжитесь с CoreMorrow по телефону 0451-86268790, 17051647888 (Wechat ID)!