Настройка положения пластины заключается в настройке пластины в правильное положение посредством точного позиционирования различных размеров для соответствия различным технологическим операциям на пластине, что широко используется в обработке пластин, инспекции пластин и технологии литографии и играет жизненно важную роль в применении, а также оказывает непосредственное влияние на качество изготовления и производительность чипа. Чем больше диаметр пластины, тем больше полупроводниковых чипов можно переносить, и тем ниже будет себестоимость производства. Таким образом, в приложениях, связанных с настройкой положения полупроводниковой пластины, спрос на большую многомерную и высоконагруженную пьезоэлектрическую платформу движения растет с каждым днем.
S51 Пьезоэлектрический наклонный столик с большой апертурой
S51.ZT0S/K-B1 — это пьезоэлектрический столик с наклоном и 3-осевым движением по осям θx, θy и Z. Его общий размер составляет 300×300×45,5 мм^3 с большой апертурой в центре. Он имеет высокую точность замкнутого контура, быструю скорость отклика и может переносить большие пластины для настройки положения. Световая апертура составляет 200×200 мм^2, что также подходит для приложений с проходящим светом. Продукт показан ниже.
Характеристики
θx θy наклон и движение Z
Версия с замкнутым контуром для высокой точности
Быстрая реакция
Доступна версия UHV
Приложения
Сканирующая микроскопия
Комбинация лазерного луча
Интерференция/измерение
Система моделирования возмущений пространства
Биотехнология
Положение маски и пластины
Технические данные
Рекомендуемый контроллер
Пьезоконтроллер E70
E70 — это небольшой 3-канальный пьезоконтроллер с высокой мощностью, низким энергопотреблением, высокой пропускной способностью и низким уровнем шума пульсации. Его оптимизированный модуль сервопривода датчиков повышает точность и стабильность регулировки и управления PI и может осуществлять цифровую связь через последовательный порт, USB или сетевой порт. Между тем, программное обеспечение верхнего компьютера поддерживает вторичную разработку, что удобно и быстро.
Пьезоконтроллер E80.D3S-O
Пьезоконтроллер E80.D3S-O в основном предназначен для управления пьезоэлементом наклона/наклона и имеет 3 выходных канала, из которых третий является выходом постоянного напряжения, подходящим для дифференциального привода. Он имеет две формы, вы можете выбрать либо корпусную, либо кассетную.