В условиях антикитайских санкций со стороны США, Китай взял курс на построение собственной микроэлектронной промышленности, независимой от заокеанских партнёров. В этом наша ситуация с китайской совпадает. Хотя наше положение в этом вопросе даже посложнее китайского, поскольку санкции в отношении китайской микроэлектроники выборочные, а в отношении микроэлектроники российской — тотальные. Хотя кто сказал, что американцы не усилят свои санкции против Китая в самый неподходящий для него момент? Поэтому китайцы создали так называемый «Большой фонд», действующий под контролем государства, и при его содействии ускорили активное финансирование собственных разработок в области полупроводников.
Главный акцент был сделан прежде всего на разработку и создание собственного оборудования для полупроводниковой промышленности. Ведь именно способность страны производить микрочипы на собственном оборудовании, не спрашивая ничьего разрешения, и определяет в значительной мере её технологический суверенитет. И если в России вопрос стоит прежде всего в закрытии государственных потребностей в микроэлектронике, то Китай это «фабрика мира». И ограничения как в поставке готовых компонентов, так и в оборудовании, материалах и технологиях для производства массовой потребительской электроники, ставят под угрозу основу всей китайской экономики. Так что китайское руководство не жалеет финансирования на скорейшее утверждение Китая как нового мирового лидера в области высоких технологий.
Результат не заставил себя ждать: целый ряд китайских предприятий встали если не на один уровень с ведущими западными производителями оборудования, то очень близки к этому. Всё больше как китайских, так и мировых производителей микрочипов приобретают именно китайскую технику, оставляя за западными поставщиками разве что самую технологически продвинутую номенклатуру. Следует отметить, что в Китае действует достаточно много производителей микрочипов мирового уровня, которые сейчас активно обращаются к оборудованию местного, китайского производства. Среди них лидеры в производстве логических микросхем: SMIC (Semiconductor Manufacturing International Corporation) и Nexchip Semiconductor, а также передовик в области «зрелых» микросхем для электромобилей и бытовой техники Hua Hong Semiconductor и один из мировых лидеров в производстве чипов флеш-памяти и SSD-накопителей YMTC (Yangtze Memory Technologies Corporation).
Итак, «горячая пятёрка» китайских производителей оборудования для полупроводниковой промышленности:
- Naura Technology Group. Крупнейшая комплексная производственная группа в этой области. Производитель печей для выращивания кристаллов. Установки травления и осаждения из паровой фазы. Диффузионные печи. Оборудование для очистки. Контрольно-измерительное и тестировочное оборудование. Недавно занялась разработкой собственного фотолитографического оборудования.
- Shanghai Microelectronics Equipment Group (SMEE). Производитель фотолитографов. Производит литографы по зрелым техпроцессам, самый передовой из которых 90 нм. Однако в мировых СМИ ходит информация, что не за горами начало производства литографов по более передовым, 28 нм техпроцессам.
- Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc (AMEC). Лидер в установках травления и осаждения из паровой фазы.
- Hwatsing Technology. Ведущий производитель полировочных и шлифовальных машин для полупроводниковых пластин.
- PNC Process Systems. Системы сверхвысокой очистки и специализированные газы для полупроводникового производства.
Разумеется, этим перечнем китайские производители специализированного оборудования не исчерпываются. Первые три компании — признанные лидеры китайского и мирового рынка. Эти компании в значительной степени принадлежат государству. Последние две — высокоспециализированные частные публичные компании, которых в Китае в этой сфере очень много. Развивать подобную специализацию очень важно, поскольку современные производственные линии не ограничиваются фотолитографами и машинами травления и осаждения, хотя эти машны безусловно являются ключевыми компонентами любой такой производственной системы. Но производство полупроводников оперирует сотнями единиц оборудования, которое обычно находится не на виду у широкой общественности, но совершенно необходимо для производственного процесса.
Необходимо оборудовать и поддерживать в должном состоянии «чистые комнаты», готовить соответствующим образом сырьё, выращивать полупроводниковые слитки, разрезать их на пластины. Эти пластины нужно легировать, шлифовать, полировать, очищать, мыть, упрочнять. Сколько этапов нужно пройти ещё до того, как начнутся основные производственные процессы! Да и после завершения этих процессов хлопот не меньше: готовые пластины нужно утончать, тестировать, разезать на отдельные чипы, капсулировать. И везде нужно соответствующее оборудование, материалы и технологии.
В Китае создана интересная система, в которой ключевое оборудование производится предприятиями с государственным участием, а многочисленное специализированное — в основном частниками. Китайский опыт мог бы пригодиться и нам.