Такое оборудование позволит России выпускать большеразмерные чипы с топологией в 350 нанометров.
В ноябре 2023 года заместитель главы Министерства промышленности и торговли Российской Федерации Василий Шпак заявил, что нашей стране необходимо достичь технологического суверенитета в микроэлектронике, вступив в гонку с Китаем, Японией и Нидерландами. Тогда же он анонсировал создание российского литографа — установки, позволяющей при помощи сфокусированного электронного пучка создавать изображения на поверхности, покрытой электронно-чувствительным слоем. Без электронных литографов невозможно создание современных микросхем.
Литографическое оборудование считается одной из самых сложных областей машиностроения, и поставки литографов из западных стран прекращены не только в Россию, но и частично в КНР.
На конференции «Цифровая индустрия промышленной России», состоявшейся 22–24 мая 2024 года в Нижнем Новгороде, Василий Шпак рассказал представителю ТАСС, что первый литографический сканер уже создан и проходит испытания в Зеленограде, на заводе «Микрон». Это одна из основных площадок, где производится российская микроэлектроника. Также производство расположено в Москве, Санкт-Петербурге и Новосибирске.
Оборудование обеспечит выпуск большеразмерных чипов с технологическими нормами в 350 нанометров, которые востребованы в автомобильной промышленности, энергетике, телекоммуникациях и других отраслях и будут использоваться ещё долгое время — как минимум 10 лет.
По утверждению замглавы Минпромторга, уже в 2025 году новое оборудование поможет обеспечить значительный объём потребностей нашего рынка, а в 2026 году появятся отечественные литографы для производства чипов с топологией 130 нанометров и так далее. Доля российского оборудования в особо критичных базовых технологических процессах должна составить 70 % к 2030 году. А на мировом рынке, по планам министерства, доля российской микроэлектроники в то же время приблизится к 3 %.
Остаётся напомнить, что на развитие электроники в 2024 году правительство заложило в бюджет больше 211 миллиардов рублей. Они будут выделены в рамках государственных программ «Развитие электронной и радиоэлектронной промышленности», «Научно-технологическое развитие России» и «Космическая деятельность России». И эти деньги, по словам Шпака, нужно правильно трансформировать в продукт.