пьезоэлектрический нанозонд состоит в основном из пьезоэлектрических двигателей и датчиков, управляемых пьезоэлектрической керамикой. Он может широко использоваться в передовых областях, таких как новые материалы, новые источники энергии, полупроводники, биомедицина, фундаментальные научные исследования. Его основная роль заключается в завершении физических измерений на наноуровне и движений на наноуровне для достижения трехосного точного позиционирования. С развитием технологии аналитических приборов и расширением сценариев применения пьезоэлектрические нанозонды стали важной частью аналитических приборов.
пьезоэлектрический нанозонд CoreMorrow имеет множество форм движения, размер движения, направление, диапазон, точность, количество модулей зонда и тип захвата зонда могут быть выбраны в соответствии с вашими требованиями. Теперь мы представляем систему нанозондов с центральной зондовой платформой и четырьмя зондовыми модулями.
пьезоэлектрический нанозонд CoreMorrow
пьезоэлектрический нанозонд CoreMorrow имеет центральный зонд и оснащен четырьмя нанозондовыми модулями, как показано на рисунке ниже.
Центральный зондовый стол может выполнять трехосное движение XYZ, ход движения XY ≥ 20 мм, ход движения Z ≥ 20 мкм. Он может использоваться в низкотемпературной вакуумной среде с температурным диапазоном от 0°C до 60°C и вакуумом 10 ^ - 4Pa. Четыре модуля зонда могут выполнять линейное движение XYZ и вращение R, XY - ход ≥ 5 мм, Z - ход ≥ 0,5 мм, а R - вращение до 180 °.
Особенности
Каждый зонд имеет 7 спортивных размеров.
Объединение движения миллиметра с движением микрона
Мм ход ≥ 20 мм.
Высокая точность 2 нм
Диапазон рабочих температур от 0°C до 60°C
Вакуумные условия до 10 ^ - 4Па, можно настроить
Ось движения, ход, скорость, размер, фиксированный интерфейс и т. Д. Можно настроить
Применение
Полупроводниковая промышленность
Тестирование и анализ электрических характеристик
Материалы
Новые источники энергии
Физика
Биомедицинская и т.д.
Технические данные
Рекомендуемый контроллер
пьезоэлектрический контроллер E53.D1E подходит для привода пьезоэлектрического нанозонда CoreMorrow. Это одноканальный пьезоэлектрический контроллер с цифровым управлением, сервоприводом с замкнутым контуром или управлением с открытым кольцом, небольшой размер, всего 105 × 103 × 30.1mm ^ 3, идеально подходит для компактного пьезоэлектрического нанозонда.
Для получения дополнительной информации свяжитесь с CoreMorrow по телефону 0451 - 86268790, 17051647888 (WeChat ID).