Диффузионные насосы — это устройства, используемые в вакуумных системах для создания и поддержания высоких вакуумных уровней. Они особенно полезны в приложениях, где требуется очень низкое давление, например, в области полупроводниковой промышленности, физических исследований или вакуумной дистилляции. Принцип и структура Основной принцип работы диффузионных насосов основан на диффузии молекул вакуумного газа через систему с уменьшающимся давлением. Это достигается за счет создания градиента давления между высоким и низким давлением внутри насоса. Молекулы газа перемещаются от области с более высоким давлением к области с более низким давлением, что приводит к созданию вакуума.
В основе диффузионного насоса лежит структура, состоящая из серии сегментов с уменьшающимся давлением, чередующихся с решетками или щитками. Эти элементы создают условия для многократного рассеивания молекул газа и обеспечивают более эффективную диффузию.
Диффузионные насосы обычно работают в сочетании с други