ASML сообщила, что ее передовые инструменты для производства чипов с высоким содержанием NA в ультрафиолетовом диапазоне (EUV), известные как Twinscan EXE с высоким содержанием NA, будут стоить около $380 миллионов каждая - более чем в два раза дороже, чем существующие системы литографии с низким содержанием NA в ультрафиолетовом диапазоне (EUV), которые стоят около $183 миллионов. Компания получила 10-20 первоначальных заказов от таких компаний, как Intel и SK Hynix, и планирует к 2028 году ежегодно производить 20 систем с высоким содержанием NA, чтобы удовлетворить спрос.
Технология EUV с высоким содержанием NA является значительным прорывом, позволяющим улучшить разрешение отпечатка до 8 нм по сравнению с 13 нм при использовании современных систем EUV с низким содержанием NA. Это позволяет производителям микросхем создавать транзисторы, которые почти в 1,7 раза меньше, что приводит к трехкратному увеличению плотности транзисторов на чипах.
Достижение такого уровня точности имеет решающее значение для производства микросхем размером менее 3 нм, что является целью отрасли на 2025-2026 годы. Это также устраняет необходимость в сложных методах нанесения двойного рисунка, которые используются в настоящее время.
Однако за превосходную производительность приходится платить - как в прямом, так и в переносном смысле. Высокая цена в $380 миллионов за каждую систему с высоким содержанием NA создает финансовые проблемы для производителей чипов. Кроме того, более крупные инструменты с высоким содержанием NA требуют полной перенастройки производственных мощностей. Их уменьшенное вдвое поле обработки изображений также требует переосмысления конструкции чипов. В результате сроки внедрения в разных компаниях различаются - Intel намерена внедрить EUV с высокой степенью NA на усовершенствованном узле 1,8 нм (18A), в то время как TSMC придерживается более консервативного подхода, потенциально внедряя его только в 2030 году и не торопясь с использованием этих литографских машин, поскольку узлы компании уже развиваются хорошо и в срок.
Интересно, что для завершения процесса установки 150-тонной системы ASML Twinscan EXE с высокой концентрацией NA потребовалось 250 ящиков, 250 инженеров и шесть месяцев. Таким образом, производство столь же сложно, как установка и эксплуатация этого деликатного оборудования.
