Нанокристаллические оксидные пассивированные трёхслойные переходы для сверхпроводящих кубитов В статье описывается метод изготовления сверхпроводящих кубитов с использованием алюминиевых трислойных переходов с алюминием-оксидом-ниобием. Для улучшения воспроизводимости и масштабируемости процесса применяется пассивация стенок нативным оксидом алюминия. Это позволяет достичь времени когерентности кубитов до 30 микросекунд при частоте 5 ГГц, что соответствует высокому качеству работы кубитов. Процесс использует вычитающее формирование и оптическую литографию в масштабе пластины, обеспечивая высокую производительность. arXiv: 2504.03481 Обзоры | Квантовая физика
Нанокристаллические оксидные пассивированные трёхслойные переходы для сверхпроводящих кубитов
В статье описывается метод изготовления сверхпроводящих кубитов с использованием алюминиевых трислойных переходов с алюминием-оксидом-ниобием. Для улучшения воспроизводимости и масштабируемости процесса применяется пассивация стенок нативным оксидом алюминия. Это позволяет достичь времени когерентности кубитов до 30 микросекунд при частоте 5 ГГц, что соответствует высокому качеству работы кубитов. Процесс использует вычитающее формирование и оптическую литографию в масштабе пластины, обеспечивая высокую производительность.
arXiv: 2504.03481
