Подготовка
Очень важно содержать вакуумную камеру в чистоте. Некоторые остатки, образующиеся во время использования, будут собирать влагу и другие загрязняющие вещества, что напрямую влияет на успешность вакуумного нанесения покрытия. Из-за нечистоты распылительных камер и катодов часто превышаются показатели короткого замыкания или образования электрической дуги, шероховатости поверхности, образующей пленку, и содержания химических примесей.
Чтобы сохранить характеристики состава покрытия, распыляемый газ (аргон или кислород) также необходимо очистить и высушить. После того, как подложка помещена в камеру напыления, необходимо удалить воздух, чтобы достичь состояния вакуума, необходимого для процесса.
Экраны темных зон, стены полостей и прилегающие поверхности также необходимо содержать в чистоте. При очистке вакуумной камеры мы рекомендуем использовать струйную обработку стеклянными шарами для удаления загрязнений, при этом сжатым воздухом удалять остатки брызг с периферии полости, а затем аккуратно полировать поверхность наждачной бумагой, пропитанной оксидом алюминия. После полировки бумаги ее промывают спиртом, ацетоном и деионизированной водой, а для вспомогательной очистки рекомендуется использовать промышленный пылесос.
При использовании катодов надевайте чистую защитную перчатку и избегайте прямого контакта с катодом руками.
Очистка
Целью очистки катода является удаление пыли и грязи, которые могут присутствовать на поверхности. Металлический катод можно очистить в четыре этапа: первый этап — использование мягкой безворсовой ткани, смоченной ацетоном; второй этап аналогичен первому – очистка спиртом; третий этап – промывка дистиллированной водой; четвертый шаг — помещение катода в духовку и сушка при температуре 100 градусов по Цельсию в течение 30 минут.
Оксидные и керамические катоды рекомендуется очищать «безворсовой тканью». После удаления загрязненного участка катод промывается аргоном под высоким давлением и низкой влажностью для удаления любых частиц загрязнений, которые могут вызвать искрение в системе распыления.
Монтаж
При установке катода важно обеспечить хорошую тепловую связь между катодом и стабилизирующей стенкой распылителя. Если степень деформации клепки или опорной пластины является серьезной, это сильно повлияет на теплопроводность задней мишени к катоду, в результате чего тепло не будет рассеиваться во время процесса распыления, что в конечном итоге приведет к растрескиванию катода.
Упаковка и транспортировка
Все катоды должны быть упакованы в вакуумный полиэтиленовый пакет с влагонепроницаемым слоем. Внешняя упаковка обычно представляет собой деревянный ящик с антиударным слоем вокруг него, защищающим катоды от повреждений во время транспортировки и хранения.