Физическое осаждение из паровой фазы (PVD) — это метод подготовки тонких пленок, при котором поверхность источника материала (твердого или жидкого) физически испаряется в газообразные атомы, молекулы или частично ионизируется в ионы в условиях вакуума. Затем на поверхность подложки с помощью газа (или плазмы) низкого давления наносится пленка, имеющая определенную функцию. Основные методы физического осаждения из паровой фазы включают вакуумное испарение, напыление, дуговую плазменную осаждение, ионное осаждение и т. д. PVD-пленка имеет высокую скорость осаждения, а также сильную адгезию, хорошую дифракцию и широкий диапазон применения. Основные принципы PVD Основные принципы технологии физического осаждения из паровой фазы можно разделить на три технологических этапа: (1) Газификация материала покрытия: то есть материал покрытия испаряется, становится неоднородным или распыляется. (2) Миграция атомов, молекул или ионов покрытия: после столкновения атомов, молекул или ионов происходит
Что такое физическое осаждение из паровой фазы (PVD)?
4 января 20244 янв 2024
78
3 мин
