Металлический титан и титановый катод (титановая мишень) для напыления по существу одинаковы, оба состоят из титанового элемента ; разница в том, что металлический титан больше похож на сырье, а титановая катод больше похожа на титановый продукт. Титан в качестве сырья можно превратить в титановые катоды для напыления несколькими методами, и они в основном используются для нанесения различных покрытий, таких как покрытие инструментов, покрытие оптики , солнечное покрытие и тому подобное. Чтобы понять цели титана, вам сначала нужно понять титан.
Открытие титана
Открытие титана неразрывно связано со следующими тремя людьми:
Титановая собственность
Титановая мишень для распыления имеет те же свойства, что и исходный материал. Титановый элемент широко распространен (около 0,4%) в земной коре. Мировые запасы титана составляют около 3,4 млрд тонн, занимая 9-е место среди всех элементов. Титан — материал высокой коммерческой ценности — он широко используется в различных областях, включая аэрокосмическую, автомобильную промышленность, медицину и здравоохранение, а также в других областях повседневной жизни из-за его высокой прочности, хорошей коррозионной стойкости и высокой термостойкости. Его коррозионная стойкость титана проявляется главным образом в том, что титан не вступает в реакцию с воздухом при обычной температуре. Однако в реальных производственных условиях титан по-прежнему подвергается различным видам коррозии .
Определение цели распыления титана
Позвольте мне дать вам простое для понимания определение мишени напыления. Слово «мишень» происходит от слова «мишень для стрельбы», которую обычно можно увидеть в нашей повседневной жизни. В процессе напыления материал покрытия бомбардируется электронным или ионным лучом, как и стреляемая мишень, поэтому материал, используемый в процессе напыления, получил свое название «мишень для распыления», также он называется катод для напыления.
От металлического титана к титановому катоду
Титановая катод для напыления представляет собой разновидность титанового продукта, изготовленного из металлического титана, который используется в напыленном покрытии для получения тонкой пленки титана. Проще говоря, существует два метода изготовления титановых катодов для напыления из металлического титана – литье и порошковая металлургия .
Литье: расплавьте сырье с определенным коэффициентом распределения, вылейте раствор сплава в форму, чтобы сформировать слиток, и, наконец, обработайте его, чтобы он стал катодом для напыления. Метод заключается в выплавке и литье в вакууме.
Порошковая металлургия: расплавьте сырье с определенным коэффициентом распределения, отлейте его в слиток, затем измельчите, изостатически спрессуйте порошок, а затем спекайте его при высокой температуре, чтобы окончательно сформировать катод.
Основные требования к титановому катоду для напыления
В целом, при измерении соответствия катода напыления основным требованиям следует учитывать следующие показатели:
Чистота : Чистота оказывает большое влияние на характеристики пленки, полученной методом напыления. Если взять в качестве примера титановый катод, то чем выше чистота, тем лучше коррозионная стойкость, а также электрические и оптические свойства напыленной пленки.
Содержание примесей : Примеси в твердом веществе целевого материала, а также кислород и водяной пар в стоме являются основными источниками загрязнения осаждаемой пленки. Катодам для разных применений предъявляют разные требования к содержанию примесей.
Плотность : Плотность катода влияет не только на скорость распыления, но также на электрические и оптические свойства пленки. Таким образом, для уменьшения пор в твердых частицах катода и улучшения свойств напыленной пленки обычно требуется, чтобы катод имел более высокую плотность.
Вышеуказанные показатели используются в качестве основных требований к катодам для напыления.