Министерство экономики, торговли и промышленности Японии предоставит субсидии в сумме $13 млрд чип-индустрии государства.
Цель инвестиций — поддержать и укрепить статус Японии как одного из лидеров полупроводниковой промышленности в мире. Кроме того, путем поддержки и развития своей полупроводниковой промышленности Япония, как ожидается, обеспечит собственными современными чипами такие быстро развивающиеся сферы, как разработка приложений искусственного интеллекта и беспилотные автомобили.
Среди основных направлений инвестиций — поддержка строительства завода тайваньской TSMC на территории Японии (будет субсидирована чуть ли не половина стоимости строительства), а также финансовая подпитка местной компании Rapidus, заявляющей, что к 2027 году построит завод, позволяющий производить чипы по техпроцессу 2 нм.
Отметим, что недавно японская компания Canon представила свою совершенно технологически новую литографическую машину FPA-1200NZ2C, предназначенную для создания полупроводниковой продукции по техпроцессу 5 нм с перспективой масштабирования до 2 нм. Оборудование, созданное Canon, относится к категории «nanoimprint lithography» (NIL). Это прямой конкурент EUV-литографической машины голландской компании ASML, работает японская установка на совершенно иных принципах. Так, в оборудовании Canon на кремниемую пластину сначала наносится слой полимера, затем сверху физически прикладывается маска, полимер же затем обрабатывается ультрафиолетом, от которого затвердевает. Этот более дешевый, чем фотолитография, метод, обладает рядом недостатков, например, могут встречаться пузырьки воздуха, которые деформируют оттиск. Другая проблема — случаи слипания между штампом и поверхностью резиста. Это может привести к расслаиванию резиста, часть которого затем остается на штампе. Эту проблему можно смягчить, используя на штампе специальный антиприлипающий слой.
Возвращаясь к правительственным субсидиям, деньги будут выделены, помимо собственно производителей чипов, создателям оборудования, предназначенного для работы в чип-индустрии, производителям промышленных газов, а также будут направлены на образовательные цели для подготовки инженеров.
Японские власти отмечают, что конкуренция в сфере создания современной полупроводниковой промышленности обостряется, Страна Восходящего Солнца пытается вернуть лидерство в сфере, где занимала хотя и ряд ключевых (достаточно вспомнить уникальные технологии Tokyo Electron), но не центральные позиции.
Помимо субсидирования заводов TSMC (а уже появилась информация, что за первым заводом последует и второй), а также вложения средств в Rapidus, власти страны окажут поддержку заводу компании Micron Technology в Хиросиме в сумме $1,5 млрд.