Найти в Дзене
Фотолитограф

Какой из двух Сarl Zeiss создал оптику для литографов в производстве микрочипов: ФРГ или ГДР?

Хорошо известно, какую важную роль в современной микроэлектронике играет немецкий концерн Carl Zeiss AG. Оптические системы этого производителя имеют ключевое значение в фотолитографическом оборудовании для производства микрочипов, производимым голландской компанией ASML. И это при том, что ASML доминирует на мировом рынке фотолитографов, а в наиболее передовых системах экстремального ультрафиолета (EUV) вообще является монополистом. Сarl Zeiss заявил о своих претензиях на мировое лидерство в этой сфере отнюдь не вчера. Фотолитографы американского производителя компании CGA, занимавшей ведущие позиции на мировых рынках в 70-х годах, уже в то время были оснащены немецкими оптическими системами. Когда мы говорим Carl Zeiss, мы обычно подразумеваем западногерманский концерн со штаб-квартирой в Оберкохене. Но ведь также широкую известность в советские годы получил восточногерманский Carl Zeiss Jena, который для стран Социалистического Сожружества значил то же, что его западногерманский со

Хорошо известно, какую важную роль в современной микроэлектронике играет немецкий концерн Carl Zeiss AG. Оптические системы этого производителя имеют ключевое значение в фотолитографическом оборудовании для производства микрочипов, производимым голландской компанией ASML. И это при том, что ASML доминирует на мировом рынке фотолитографов, а в наиболее передовых системах экстремального ультрафиолета (EUV) вообще является монополистом.

Самое точное в мире зеркало для EUV-литографии, фото: ZEISS
Самое точное в мире зеркало для EUV-литографии, фото: ZEISS

Сarl Zeiss заявил о своих претензиях на мировое лидерство в этой сфере отнюдь не вчера. Фотолитографы американского производителя компании CGA, занимавшей ведущие позиции на мировых рынках в 70-х годах, уже в то время были оснащены немецкими оптическими системами. Когда мы говорим Carl Zeiss, мы обычно подразумеваем западногерманский концерн со штаб-квартирой в Оберкохене. Но ведь также широкую известность в советские годы получил восточногерманский Carl Zeiss Jena, который для стран Социалистического Сожружества значил то же, что его западногерманский собрат для западного мира.

Как получилось, что существовало два предприятия в разных странах, носящие одно и то же имя: Карла Цейсса, немецкого ремесленника 19 века, открывшего в 1846 году мастерскую по изготовлению и ремонту оптического оборудования в городе Йена, которая со временем превратилась в компанию №1 в мире промышленной оптики? В апреле 1945 года американские войска оккупировали город Йена. Поскольку этот город по договорённости с Советским Союзом относился к Советской зоне оккупации Германии, через три месяца, в июле 1945 года, американцам пришлось уйти. Но и трёх месяцев им хватило, чтобы как следует «похозяйничать» на Carl Zeiss. Американцы успели вывезти в США значительную часть документации и оборудования. Более сотни руководителей и ведущих инженеров компании было вывезено в Западную зону оккупации, в городок Оберкохен. Там и была основана новая компания Zeiss Opton, вскоре переименованное в традиционное Carl Zeiss.

Комплекс Carl Zeiss в Оберкохене, Западная Германия, 1946 год, изображение: Aiver1986, CC BY-SA 3.0, commons.wikimedia.org
Комплекс Carl Zeiss в Оберкохене, Западная Германия, 1946 год, изображение: Aiver1986, CC BY-SA 3.0, commons.wikimedia.org

Советский Союз после ухода американцев в качестве репараций также вывез большую часть оборудования. Но некоторая часть была оставлена в Йене. Этого оказалось достаточным для последующего возрождения производства. Активы бывшего предприятия перешло к новому государственному предприятию VEB Carl Zeiss Jena (VEB = Volkseigener Betrieb, государственное предприятие). Оба прелприятия, и западногерманское, и восточногерманское, быстро встали на ноги и заняли лидирующие позиции в мировой промышленной оптике. И, разумеется, каждое предприятие считало себя единственно законным преемником исторического Carl Zeiss и владельцем соответствующей торговой марки. Последовали многочисленные судебные разбирательства с предсказуемым финалом: суды западных стран вставали на сторону западногерманского Carl Zeiss (бывшего Zeiss Opton), а суды восточных — на сторону Carl Zeiss Jena.

Сравните: комплекс Carl Zeiss в Оберкохене, но уже в наше время - июнь 2023 года, изображение: commons.wikimedia.org
Сравните: комплекс Carl Zeiss в Оберкохене, но уже в наше время - июнь 2023 года, изображение: commons.wikimedia.org

Поскольку в те годы договариваться получалось лучше, чем в наше время, противоборствующие стороны в конце концов пришли к соглашению: в социалистической сфере влияния марку Carl Zeiss может использовать только компания из ГДР, а в западной — компания из ФРГ. В общем, этим компаниям благополучно удалось «поделить мир». Что касается случаев, когда компании работали на территориях друг друга, то они использовали специально созданные для этого торговые марки: западногерманский производитель использовал марку «Opton», а восточногерманский — «aus Jena».

Но если западногерманский Carl Zeiss продолжил специализироваться преимущественно в оптике, то Carl Zeiss Jena превратился в многопрофильный конгломерат. В ГДР такие предприятия называли «комбинатами». Наиболее крупными комбинатами в ГДР были дрезденский Robotron и, соответственно, Carl Zeiss Jena. В каждом из них трудилось по 60-70 тысяч человек. Robotron специализировался на производстве электронной техники: ЭВМ, калькуляторы, пишущие машинки, персональные компьютеры, радиоприёмники, телевизоры, программное обеспечение. Carl Zeiss Jena сфокусировался на развитии микроэлектроники. Компания занималась производством микросхем, сама создавала для этого фотолитографическое оборудование, и сама же разрабатывала для него оптические системы. В общем, Carl Zeiss Jena удалось сделать то, что никому ни до, ни после него не удалось: создать кластер по производству микроэлектроники полного цикла.

Главное здание Carl Zeiss Jena, променад Карла Цейса, Йена, фото: Wolfgang Pehlemann, CC BY-SA 3.0, commons.wikimedia.org
Главное здание Carl Zeiss Jena, променад Карла Цейса, Йена, фото: Wolfgang Pehlemann, CC BY-SA 3.0, commons.wikimedia.org

Современный Сarl Zeiss AG производит оптические системы для фотолитографического оборудования, но само оборудование производит уже ASML, а специализированные производители, такие как тайваньская TSMC, производят на нём микрочипы. Carl Zeiss Jena делал всё это сам. Поскольку важным потребителем «цейссовской» микроэлектроники выступал комбинат Robotron, совместно эти два предприятия представляли собой одно из главных действующих лиц мировой электроники прошлого века. Само собой, важными потребителями продукции Carl Zeiss Jena были Советский Союз и страны Социалистического Содружества. Хотя комбинат также продавал свою продукцию и в другие страны. У него даже было торговое представительство в США.

В 1990 году, накануне объединения Германии, комбинат Carl Zeiss Jena распался. Часть мощностей были приобретены западногерманской Carl Zeiss. В итоге сформировался объединённый Carl Zeiss AG, каким мы его знаем сейчас, со штаб-квартирой в Оберкохене и вторым по значимости производственным центром в Йене. В общем, как ФРГ поглотила ГДР, так и западногерманский Zeiss поглотил своего восточногерманского «собрата». Причём остался от этого в большом наваре: количество патентов, зарегистрованных восточногерманским комбинатом, не уступало количеству патентов Carl Zeiss из ФРГ. Ограничения на получения западных технологий заставили Carl Zeiss Jena разрабатывать их самостоятельно, в том числе в области фотолитографии. Так что в нынешних успехах Carl Zeiss AG большая заслуга учёных и инженеров из Германской Демократической Республики, которые, кстати говоря, работали при самой серьёзной финансовой и технологической поддержке Советского Союза.

Jenoptik: компания мирового уровня в области высокоточной промышленной оптики, фото: Jenoptik
Jenoptik: компания мирового уровня в области высокоточной промышленной оптики, фото: Jenoptik

Из других осколков бывшего комбината была сформирована компания Jenoptik, не связанная с Carl Zeiss. Она специализируется на промышленной оптике и лазерных технологиях, и успешно существует и поныне. Конечно, распад Carl Zeiss Jena не прошёл «без сучка и задоринки»: многие тысячи сотрудников потеряли работу. Но дела на смежном «Роботроне» обстояли гораздо хуже. Он попросту исчез: всего менее 5% сотрудников бывшего «Роботрона» получило работу у новых западногерманских хозяев производственных объектов.

Люди старшего поколения хорошо помнят знаменитый футбольный клуб «Carl Zeiss Jena». Это был один из сильнейших клубов Восточногерманской футбольной лиги, он регулярно участвовал в соревнованиях с советскими командами. Впрочем, этот клуб существует до сих пор. Только вряд ли кому-то из нас он сейчас интересен.