В научном центре «Передовые цифровые технологии» Санкт-Петербургского политехнического университета Петра Великого (СПбПУ) учёные создали импортозамещающий технологический комплекс, позволяющий создавать различные наноструктуры. Их можно использовать для работы микроэлектронного оборудования, сообщают «РИА. Новости» со ссылкой на министерство науки и высшего образования РФ. Сообщается, что разработка комплекса поможет решить вопрос технологического суверенитета России в этом направлении в сфере микроэлектроники. При этом, по оценкам ученых, такая установка отечественного производства будет стоить примерно 5 миллионов рублей, что существенно дешевле импортной, которая обходится примерно 10-13 миллиардов рублей за штуку. Известно, что комплекс состоит из двух частей. Первая – промышленный образец установки безмасочной нанолитографии. Второй элемент комплекса – промышленный образец установки плазмохимического травления кремния. Для работы прибора учёные разработали и специальное программн
Комплекс для выпуска микроэлектронных наноструктур создали в Петербурге
4 октября 20234 окт 2023
6
1 мин