Электронно-лучевое (электронно-лучевое) испарение — это форма физического осаждения из паровой фазы. Материал мишени, используемый в качестве покрытия, бомбардируется электронным лучом заряженной вольфрамовой нити для его испарения и перевода в газообразное состояние для осаждения на материал, на который будет нанесено покрытие. В камере высокого вакуума эти атомы или молекулы в паровой фазе затем осаждаются и образуют тонкопленочное покрытие на подложке.
Электронно-лучевое испарение, процесс термического испарения и распыление являются двумя наиболее распространенными типами физического осаждения из паровой фазы (PVD). Из этих двух процессов метод электронно-лучевого осаждения имеет несколько явных преимуществ для многих типов применений.
1. Он обеспечивает прямую передачу энергии с помощью электронного луча к испаряемому материалу мишени, что делает его идеальным для металлов с высокими температурами плавления. Электронно-лучевое испарение может обеспечить значительно более высокие скорости осаждения - от 0,1 нм в минуту до 100 нм в минуту - что приводит к получению пленочных покрытий с более высокой плотностью и повышенной адгезией к подложке.
2. Электронно-лучевое испарение также имеет очень высокую эффективность использования материала по сравнению с другими процессами PVD, что снижает затраты. Система E-Beam нагревает только целевой исходный материал, а не весь тигель, что приводит к снижению степени загрязнения тигля. Концентрируя энергию на мишени, а не во всей вакуумной камере, это помогает снизить вероятность теплового повреждения подложки.
3. Несколько различных слоев покрытия из разных целевых материалов можно наносить с помощью нескольких тигельных электронно-лучевых испарителей, не нарушая вакуум, что позволяет легко адаптироваться к различным методам маскировки отрыва.
Из-за высокой скорости осаждения и высокой эффективности использования материала. Электронно-лучевое испарение используется в различных областях применения, начиная от высокопроизводительной аэрокосмической и автомобильной промышленности, где высокие температуры и износостойкость являются ключом к созданию прочных твердых покрытий для режущих инструментов, химических барьеров и покрытий, защищающих поверхности в агрессивных средах, например, морскую арматуру. Электронно-лучевое испарение используется для оптических тонких пленок, начиная от лазерной оптики, солнечных панелей, очков и архитектурного стекла, чтобы придать им желаемые проводящие, отражающие и пропускающие свойства.
Существует три основных типа конфигураций электронного луча для нагрева целевого материала: электромагнитная фокусировка, электромагнитное выравнивание и конфигурация подвесного падения.
