- Финишное плазменное упрочнение (ФПУ) - безвакуумный и бескамерный процесс струйного плазмохимического нанесения кремнийсодержащих покрытий из газовой фазы.
- Разработчиками данной технологии являются коллектив ученых и специалистов Тополянский П.А., Ермаков С.А., Соснин Н.А. (СПбГПУ и научно-производственная фирма ООО "Плазмацентр").
- ФПУ применяется для создания на рабочих поверхностях деталей машин, механизмов и оборудования, инструмента, технологической оснастки покрытий, обеспечивающих износостойкость, химическую инертность, коррозионную стойкость, антифрикционность, жаростойкость, и др.
- ФПУ относится к химическому осаждению покрытий из газовой плазмы (CVD) стимулированного плазмой (PECVD) или ассистированного плазмой (PACVD).
- Основные стадии ФПУ: генерирование аргоновой плазмы дугового разряда постоянного тока, подача паров жидких прекурсоров, диссоциация при столкновении с быстрыми электронами аргоновой плазмы, адсорбция химически активных частиц на подложке, плазменная активация поверхности, плазмохимическая реакция, удаление побочных продуктов реакций.
- Основные виды покрытий, наносимые методом ФПУ применяются для повышения долговечности и надежности инструмента, штампов, пресс-форм, ножей, деталей машин и механизмов, медицинского инструмента, для предотвращения образования углеродистых отложений, обеспечения биосовместимых и бактерицидных свойств имплантатов и деталей имплантационного назначения.
- Технология и оборудование для ФПУ используются, например, для упрочнения режущего инструмента и деталей технологической оснастки в различных российских и зарубежных компаниях.