С развитием полупроводниковой промышленности и производственных процессов контроль качества кристаллического круга предъявляет более высокие требования к эффективности и точности. Важно точно улавливать дефекты, особенно если кристаллические пластины являются основными компонентами производства полупроводниковых чипов. Контроль качества кристаллического круга сильно зависит от сверхточных приборных измерений, поэтому лазерный конфокальный микроскоп может использоваться для достижения контроля качества кристаллического круга, что помогает улучшить производственный процесс и улучшить производство хороших продуктов.
Лазерный микроскоп с общей фокусировкой использует лазер в качестве источника света и использует сопряжённое фокусирующее устройство. Лазерный луч отражается в объективе через световую иглу через спектрометр, а пьезоэлектрический объектив с загруженным объективом точно локализуется и настраивается, фокусируясь на образце, чтобы сканировать каждую точку на фокальной плоскости образца. Если в образце ткани присутствует возбуждаемое флуоресцентное вещество, флуоресценция, испускаемая после возбуждения, возвращается непосредственно в спектроскоп по исходному каналу падения, и при обнаружении игольчатых отверстий фокусируется свет сначала с помощью пьезоэлектрического объективного сканера с загруженным объективом.Фокусированный свет обнаруживается и собирается фотоумножителем (PMT), сигнал передается на компьютер, а обработанное изображение отображается на компьютерном мониторе. Пробы были подвергнуты неразрушающему наблюдению, а их трехмерная пространственная структура была проанализирована с помощью компьютерной обработки изображений. В этом приложении пьезоэлектрический объектив - сканер выполняет функцию двойной фокусировки и корректирует точность позиционирования наноуровня в направлении Z через загруженные объективы, чтобы сделать фокусировку более точной и изображение более ясным.
пьезоэлектрический объектив - сканер CoreMorrow
пьезоэлектрический объектив - сканер CoreMorrow спроектирован с использованием гибкого шарнира без возвратной ошибки и параллельного рулевого механизма с небольшой компенсацией объектива. Объективный сканер обладает сверхвысокой стабильностью фокусировки, оснащен миниатюрным устройством обнаружения / измерения или наблюдения, может приводить объективную фокусировку для повышения точности с разрешением до нанометрового уровня и может соответствовать стандартным объективам, таким как ZEISS, Nikon, Olympus, Leica.
