Мы уже рассказывали про центр микротехнологии и диагностики в этой статье. Теперь, перейдя от слов к действию, мы предлагаем Вам экскурсию по комплексу ЦМИД.
Итак, перед Вами план научно-исследовательского комплекса:
Для начала давайте посетим лабораторию корпускулярно-зондовой диагностики. Простыми словами, корпускулы – это особые частицы потока света, а зонд – это датчик, с помощью которого сканируется необходимая поверхность. Пройдёмте?
Сразу у входа нас встречает растровый электронный микроскоп Quanta Inspect производства США. Такое устройство позволяет исследовать тонкую структуру поверхности крупных образцов.
Далее нас ожидает ещё 2 похожих, по технической сложности, устройства. А ведь это только первая лаборатория из семи открытых!
Ближайший к нам аппарат – это комплекс нанолитографии на базе сканирующего зондового микроскопа Nanoman V (США). Такое устройство проводит локальные исследования проводимости.
Следующий экспонат – комплекс сверхпрецизионного наноразмерного травления, нанесения и модифицирования материалов на основе острофокусированного ионного пучка Helios NanoLab 400 (США). Одна из множества его задач – проведение элементного анализа слоев, поверхностей и структур.
После успешного исследования лаборатории корпускулярно-зондовой диагностики, направляемся в соседнюю, цель которой – оптический контроль и диагностика.
Давайте познакомимся с инфракрасным микроскопом с ИК-Фурье спектрометром, CONTINUUM NICOLET 6700 (США)! Его задача – анализировать слои, поверхности и структуры с помощью инфракрасного света.
Следующие два микроскопа – оптический (Беларусь) и оптический цифровой для 2D и 3D измерений (Япония).
Выходим в коридор…понимаю, такое количество умных слов изрядно забивает мозг, однако, стоит отдать должное тем, кто оснащал ЦМИД. Мы прошли всего две лаборатории, но даже их технический арсенал поражает. Итак, лаборатория ионно-плазменных процессов!
Постараемся объяснить кратко смысл этого помещения: ионное травление – это удаление поверхностных слоев материала с помощью физического распыления. Однако, ионно-плазменное травление – это непосредственный контакт плазмы (источника ионов и среды протекания процесса) и обрабатываемого материала. Как-то так.
Мы посетили три лаборатории, на очереди ещё четыре! Не переключайтесь.
Благодарим "ЛЭТИ" за возможность виртуального путешествия по центру микротехнологии и диагностики.