FSM - это очень сложный инструмент, который может использоваться для коррекции отклонения от одной оси до нескольких осей с разрешением до нанодуги. Структура FSM варьируется от выбора внутренней пьезоэлектрической керамики до проектирования внутренних и внешних конструкций, а затем обработки конструкций и имеет высокие требования во многих аспектах, таких как размер, производительность, надежность и конструкция пьезоэлектрической керамики. Принципы, используемые материалы и точность обработки. Кроме того, для некоторых специальных применений специально разработана конструкция сейсмического укрепления, сейсмическая прочность 10 ~ 12 gR.M.S; Существует также низкотемпературная вакуумная совместимость FSM, предназначенная для использования в низкотемпературной вакуумной среде. Функциональность FSM очень хороша, и для достижения ее превосходной производительности мы должны обратить внимание на некоторые основные проблемы во время установки, чтобы избежать подавления производительности FSM