пьезоэлектрическая наноплатформа с дифференциальным приводом
пьезоэлектрический уровень P16 известен своим небольшим размером и большим смещением. Его внешний вид составляет всего 60 × 60 × 20 мм. Смещение может быть выбрано 50 мкм или 100 мкм. Очень маленькие размеры и низкая высота обеспечивают большее смещение.
В центре двухмерной передвижной пьезоэлектрической станции P16 XY имеется отверстие для прохода калибра Фи20 мм, которое идеально подходит для оптических применений. Недавно
CoreMorrow обновил семейство P16, улучшив структуру и внешний вид, сделав его более интегрированным и значительно улучшив надежность.
Установить интерфейс
Нагрузка может быть закреплена путем перемещения четырех резьбовых отверстий M3 на расстоянии 25 мм на поверхности или четырех резьбовых отверстий M2 на расстоянии 16 мм. Механический интерфейс легко установить.
Принцип привода
пьезоэлектрическая станция P16 представляет собой специальную спортивную станцию. Он использует дифференциальный привод для управления. Несмотря на то, что это двухмерное движение, для его привода требуется трехканальный пьезоэлектрический контроллер с постоянным напряжением. Это связано с тем, что движение каждой оси управляется двумя наборами дифференциальных приводов пьезоэлектрических реакторов, как показано на рисунке ниже.
Описание использования / кривая смещения
Из - за дифференциального привода кривая смещения с открытым / замкнутым контуром пьезоэлектрической ступени P16 несколько отличается от кривой с неизменным приводом пьезоэлектрической ступени. В качестве примера можно привести приводное напряжение 150В, связь между замкнутым перемещением в направлении оси X и контрольным напряжением показана на рисунке ниже. Кривая смещения и напряжения на оси Y идентична оси X.
Как видно из приведенного выше рисунка, при регулируемом напряжении 75 В движущееся положение возвращается в исходное положение до того, как напряжение было наложено.
Технические данные
Модель: P16.XY100S / K
Ось: X Y
Диапазон хода: 80 или ±40 мкм / axis@120V
Диапазон хода: 100 или ±50 мкм / axis@150V
Датчик: SGS
Аппаратура: Фи 20 мм
Разрешение замкнутого / открытого кольца: 10 / 5 нм
Линейность замкнутого цикла: 0,4% F.S.
Повторность замкнутого цикла: 0,1% F.S.
Наклонение / рыскание / крен: < 25 мкрад
Толкай / тяга: 30N
Жесткость: 0.5N / мкм
резонансная частота холостого хода: 400 Гц
Время шага холостого хода замкнутого / открытого кольца: 10 / 1.6 мс
Частота работы с замкнутым контуром холостого хода: 100Hz@10 Смещение%
Частота работы с замкнутым контуром холостого хода: 10Hz@100 Смещение%
Загрузка: 1.5 кг
ёмкость: 3,6 мкФ / ось
Материалы: сталь, алюминий
Масса: 220 г
Примечание: P16.XY50S / K смещается до 50 мкм или ±25 мкм
Применение
• Микроскопическая визуализация
• Проверка поверхности
• Помехи / измерения
• Точное определение местоположения
• Оптика
• Микрооперации