Облачные платформы с микропозиционированием, управляемые пьезоэлектрическими реакторами, широко используются в области микронанотехнологий и часто являются ключевыми компонентами прикладных систем. пьезоэлектрическая наклонная станция CoreMorrow использует пьезоэлектрический реактор в качестве источника привода. Внутренняя конструкция использует параллельную конструкцию гибкого шарнира без обратного положения для достижения точной регулировки угла. Он имеет преимущества небольшого размера, компактной структуры, отсутствия механического трения, высокой точности позиционирования, обеспечивает хорошую точность отклонения и стабильность продукта, быструю скорость отклика, имеет широкие перспективы применения в комбинации лазерного сканирования и лазерного луча.
пьезоэлектрические облачные станции серии S54
Серия P54 представляет собой двухмерный пьезоэлектрический дефлектор с большим центральным отверстием. Используя конструкцию гибкого шарнира без трения, скорость отклика, точность позиционирования замкнутого кольца высока. Большое прозрачное отверстие в центре 80×80 мм позволяет легко интегрироваться в микроскопические и сканирующие оптические системы.
Характеристики
• Тета x, тета y
• Открытое / замкнутое кольцо
• Большой проходной отверстие 80×80 мм
• Высокое разрешение
• Тонкие формы
высокоточное замкнутое кольцо
Внутренний гибкий шарнирный направляющий механизм оптимизирован с помощью анализа конечных элементов, чтобы минимизировать угловое смещение без трения. Передовая / наклонная платформа P54 может достигать максимального диапазона отклонения ±1 мрад с разрешением до 0,05 мкрад. Датчик замкнутого цикла может быть настроен избирательно для достижения воспроизводимости 0,1% F.S.
Загрузка больших зеркал
Стенд для пьезоэлектрических нагрузок S54 имеет большую апертуру 80 × 80 мм и идеально подходит для применения, требующего пропускания света.
Кривые нагрузки и частоты
Время шагов
Время прохождения S54.T2S до полного хода без нагрузки составляет около 20 мс.
Технические данные
