Пьезо-Нанопозиционная ступень (прямой привод):
• Дополнительное смещение 30 мкм/60 мкм
• Нагрузка до 8 кг
• Повторяемость до 12 нм
• Разомкнутый/замкнутый контур
• Доступна версия UHV
Семейство P66 включает в себя:
P66.X (ось X), P66.Z (ось Z), P66.XY (оси XY), P66.XZ (оси XZ), P66.XYZ (оси XYZ).
Для получения дополнительной информации>>
http://www.coremorrow.com/en/proshow-16-670-1.html
Piezo Nanopositioning Stage(Direct Drive):
• Optional 30μm/60μm displacement
• Load to 8kg
• Repeatability to 12nm
• Open/closed loop
• UHV version is available
P66 family include:
P66.X(X axis), P66.Z(Z axis), P66.XY(XY axes), P66.XZ(XZ axes), P66.XYZ(XYZ axes).
For more information>>
http://www.coremorrow.com/en/proshow-16-670-1.html