Найти в Дзене
wang wang

пьезоэлектрические сканеры для нанолитографии

Оглавление

Нанофотомия - это совершенно новый метод копирования нано - рисунков. Суть заключается в применении традиционного принципа копирования формы к микропроизводству. Сначала компьютер преобразует изображения BMP в изображения серого цвета, а затем использует двухмерный пьезоэлектрический сканер для привода покрытых линз, чтобы оптимизировать чтение информации изображения. В то же время он управляет лазерами и пьезоэлектрическими сканерами для завершения нанопозиционной обработки изображений. Нанофотометрия является ключом к подготовке наноструктур и имеет широкие перспективы применения.

Используя пьезоэлектрический сканер CoreMorrow P12 серии XY, можно управлять пленочной линзой для оптимизации считывания информации изображения, а также управлять лазером и пьезоэлектрическим сканером, которые совместно выполняют наноточную обработку изображения.

P12.XY100 пьезоэлектрические сканеры

P12.XY100 - это пьезоэлектрический линейный сканер XY со встроенным высоконадежным пьезоэлектрическим приводом. Он имеет хорошую линейность движения. Аппаратура сканера может быть выбрана из 25 или 35 мм.

-2

Открытая / замкнутая кривая

-3

Линия замкнутого контура

-4

Технические данные

Модель: P12.XY100
Активная ось: XY
Длинная ходьба range@120V : 80 мкм / ось
Длинная ходьба range@150V : 100 мкм / ось
Датчик: SGS
Аппаратура: dst 25 / dst 35 мм
Разрешение замкнутого / открытого кольца: 7 / 4 нм
Линейность замкнутого цикла: 0,1% F.S.
Повторяемость: 0,05% F.S.
Наклонение / рыскание / крен: 25 / 8N
Жесткость: 0,2N / мкм
Резонансная частота холостого хода: X180 / Y230Hz
Время шага холостого хода замкнутого / открытого кольца: 15 / 0.8 мс
Загрузочная мощность: 0,7 кг
Конденсатор: 1,8 мкФ / ось
Материалы: сталь, алюминий
Масса: 200 г