С быстрым развитием современной науки и техники, такой как прецизионная обработка и производство, микроэлектроника и оптическая прецизионная инженерия, технология точного позиционирования и обработки предъявляет все более высокие требования. Требуется не только точность позиционирования нанометрового уровня, но и технология обработки и позиционирования, способная достичь большого маршрута. Компания CoreMorrow разработала серию многомерных спортивных платформ с большими маршрутами, высокой точностью и быстрым реагированием. Широко используется в области точной обработки, сканирующей микроскопии и других областях.
P11.XY200Z300
P11.XY200Z300 представляет собой трехмерную линейную движущуюся платформу с пьезоэлектрическим реактором в качестве источника, использующего механизм усиления. Это наносистема позиционирования, которая сочетает в себе пьезоэлектрические шарниры и гибкие шарниры. Он обеспечивает миллисекундную реакцию и точность позиционирования на наноуровне.
• Движение XYZ
• Маршруты до X180 мкм, Y180 мкм и Z300 мкм
• Разрешение XY2nm, Z4nm
• Загрузка до 200 г
P60.XYZ200
P60.XYZ200 использует гибкий шарнирный направляющий механизм без трения, встроенный в высокопроизводительный пьезоэлектрический реактор, который может достигать смещения 200 мкм. Использование метода моделирования конечных элементов для оптимизации гибкой шарнирной структуры. Гибкая система наведения имеет высокую точность наведения и хорошую точность управления. Разрешение и стабильность могут достигать нанометрового уровня, а время стабилизации позиционирования составляет всего миллисекунды.
• Движение XYZ
• Маршрут до 200 мкм / ось
• Разрешение 8 нм
• Загрузка до 300 г
P15.XYZ300
P15.XYZ300 - это быстрая и высокоточная трехосная сканирующая платформа позиционирования с очень высокой линейностью. Центральное сквозное отверстие 66 * 66 мм, ход 300 мкм / ось, внутренняя отделка гибкой шарнирной структуры с использованием линии, оптимизированной с помощью анализа конечных элементов (FEA). Анализ конечных элементов делает его конструкцию максимально жесткой и минимизирует линейные и угловые биения.
• Движение XYZ
• Маршрут до 300 мкм / ось
• Разрешение 6nm
• Аппаратура 66 * 66 мм
• Загрузка до 500 г
P18.XYZ200
P18.XYZ200 - это трехмерный линейный сканирующий стол, предназначенный для приложений с большой апертурой и большим перемещением. Он может достигать диапазона сканирования 200 мкм с апертурой Ö35 мм. Он широко используется в таких областях, как точное позиционирование образцов, сканирующая микроскопия и интерференция.