Поликристалический кремний является одним из самых распространенных материалов в современной электронике и солнечной энергетике. Он используется в производстве солнечных батарей, микрочипов, микросхем, транзисторов и других электронных компонентов. Процесс производства поликристалического кремния начинается с заготовки чистого кремния. Чистый кремний получают из кварцевого песка, который очищают и превращают в металлический кремний методом термического восстановления. Затем металлический кремний подвергают химической очистке, чтобы убрать остаточные примеси. После очистки кремний переводят в газовую фазу и используют в процессе химического осаждения. Этот процесс происходит в специальных реакторах, где кремний помещают вместе с газами, такими как трихлорсиликан и водород. При определенных условиях газы реагируют с кремнием, образуя слой поликристаллического кремния на поверхности заготовки. После образования слоя кремния на поверхности заготовки процесс продолжается до тех пор, пока