пьезоэлектрические наклонные станции серии S22 представляют собой пьезоэлектрические отклоняющие зеркала / быстрые зеркала с отклонением оси тета - θx. Конструкция гибкой шарнирной направляющей с нулевым трением и нулевым статическим сопротивлением, отличная точность направляющей, обеспечивающая субмикронное разрешение дуги и отличную стабильность позиционирования. Диапазон отклонения луча до 6 мrad, чрезвычайно быстрая реакция (от миллисекунд до микросекунд), идеально подходит для динамических операций (например, отслеживания, сканирования, дрейфа и устранения вибраций), а также для оптического и статического позиционирования образцов.
Характеристики
• Отклонение оси тета - θx
• Угол наклона до 3mrad
• Субмиллисекундное время отклика
• Высокая точность определения местоположения с замкнутым контуром
Применение
• Обработка и стабилизация изображений
• Лазерное сканирование
• Перекрестное сканирование
• Оптические фильтры / переключатели
• Отклонение луча
• Испытания образцов
Монтаж и склеивание линз
Линза S22 загружает поверхность в плоскость размером Фи15 мм. Линза прикрепляется к этой поверхности. Мы можем склеить линзы для вас, чтобы вы могли использовать их позже. Вам просто нужно установить его после получения пьезоэлектрического дефлектора, Доступна в любое время.
S22.U3S имеет два отверстия для установки резьбы M3 в нижней части для фиксации.
Структурные принципы и управление
Шарнир определяет точку шпинделя и также действует как предварительное натяжение пьезоэлектрического привода. Преимущество конструкции с одним шарниром и одним приводом заключается в простоте конструкции, небольшом размере и высокой рентабельности. Если температура рабочей среды сильно меняется во время углового отклонения, рекомендуется использовать дифференциальный пьезоэлектрический наклонный стол с сердечником.
пьезоэлектрический контроллер с выходным каналом может приводить в движение пьезоэлектрическую наклонную платформу S22.U3S. Дополнительный пьезоэлектрический контроллер E53.D небольшой по размеру и полностью функциональный. Он имеет функцию сервоуправления с замкнутым контуром и может передаваться через внешние аналоговые сигналы или компьютеры. Управляется программным обеспечением, операция проста, легко интегрируется.
Технические данные
Модель: S22.U3S
Ведущий вал: тета x
Наклонение (0 ~ 120V): 2.5mrad (eh 520 ")
Наклонение (0 ~ 150V): 3mrad (eh 600 ")
Датчик: SGS
Разрешение замкнутого / открытого кольца: 0,3 / 0,1 мкрад
Линейность замкнутого цикла: 0,2% F.S.
Повторность замкнутого контура: 0,15% F.S.
резонансная частота холостого хода: 3 кГц
Время шагов разгрузки замкнутого / открытого кольца: 3 / 0.8 мс
Частота разгрузки (10% хода): 100 Гц
Частота разгрузки (100% хода): 40 Гц
ёмкость: 1,8 мкФ
Материал: сталь
Качество: 80 г