пьезоэлектрический контроллер, оснащенный проверкой измерения смещения емкости, называется пьезоэлектрическим контроллером, потому что он по существу является пьезоэлектрическим контроллером. Но в отличие от обычного пьезоэлектрического управления, он также оснащен модулем измерения смещения емкости. Может использоваться для измерения смещения микродвижущихся продуктов, диапазон измерений обычно составляет от 0 до 200 мкм. Функции и цели пьезоэлектрических контроллеров заключаются в следующем.
Функция 1: Проверка смещения замкнутой пьезоэлектрической наносистемы позиционирования
замкнутая пьезоэлектрическая наносистема позиционирования представляет собой пьезоэлектрическую нанодинамическую систему позиционирования, способную осуществлять сервоуправление перемещением с замкнутым контуром. Он обеспечивает обратную связь и управление перемещением пьезоэлектрических приводов в режиме реального времени. В этой системе пьезоэлектрический контроллер представляет собой замкнутый пьезоэлектрический контроллер, состоящий из модуля усилителя мощности, сервопривода замкнутого цикла и модуля питания. Модуль управления верхней машиной является необязательным.
После того, как замкнутый пьезоэлектрический контроллер оснащен модулем измерения смещения емкости, он может измерять смещение самой пьезоэлектрической наносистемы позиционирования. Этот процесс показан на диаграмме ниже.
Функция 2: Проверка смещения наносистем определения местоположения с открытым циклом пьезоэлектричества
Открытая пьезоэлектрическая наносистема позиционирования представляет собой пьезоэлектрическую нанодинамическую систему позиционирования, способную осуществлять базовое управление движением. Он может контролировать перемещение пьезоэлектрических приводов. В этой системе пьезоэлектрический контроллер представляет собой замкнутый пьезоэлектрический контроллер, состоящий из модуля усилителя мощности, модуля питания и необязательного модуля управления верхней машиной.
После того, как пьезоэлектрический контроллер с открытым кольцом оснащен модулем измерения смещения емкости, он может измерять смещение самой пьезоэлектрической наносистемы позиционирования. Этот процесс показан на диаграмме ниже.
Функция 3: управление замкнутым контуром в качестве пьезоэлектрической наносистемы позиционирования
В открытой пьезоэлектрической наносистеме позиционирования оснащен модулем измерения смещения емкости, который может использоваться в качестве сервоуправления пьезоэлектрическим контроллером, так что вся система образует замкнутое управление. Кроме того, пьезоэлектрический контроллер, интегрированный с конденсаторным модулем измерения смещения, также может измерять смещение самой пьезоэлектрической наносистемы позиционирования, как и « Функция 2». Эти два процесса показаны на диаграмме ниже.
Функция 4: Измерение перемещения других устройств
Если вы используете другое пьезоэлектрическое оборудование с диапазоном смещения от 0 до 200 мкм, вы также можете использовать этот конденсаторный пьезоэлектрический контроллер для измерения.