пьезоэлектрические сканеры серии N62 XY представляют собой платформу для сканирования сдвига оси XY с использованием механизма усиления. Центральная апертура 26 мм позволяет смещать ось X и Y ± 10 мкм. Продукт имеет компактную структуру и легко интегрируется.
Характеристики
• Маршрут ±10 мкм
• Мощность нагрузки до 1 кг
• апертура: Ö6mm
• Высокая замкнутая повторяемость
• Открытое / замкнутое кольцо
• Можно настроить
Типичное применение
• Микроскопическое изображение
• Проверка поверхности
• Стабильность изображения
• помехи / измерение
• Точное определение местоположения
• Сканирование XY
Кривая частоты и нагрузки
Высокая динамика, высокое разрешение и высокая точность
пьезоэлектрические сканеры серии N62 представляют собой малогабаритные высокоточные сканирующие платформы. Он перемещается по осям X и Y и предназначен для применения с высоким разрешением, высокой динамикой и высокой точностью позиционирования. Встроенная высоконадежная пьезоэлектрическая керамика может достигать смещения оси XY ± 10 мкм, разрешение до 0,5 нм, точность повторения всего хода до наноуровня.
Изделие изготовлено из нержавеющей стали и имеет специальную конструкцию, которая делает его очень жестким. Резонансная частота холостого хода составляет 2000 Гц, что отвечает потребностям промышленности в высокочастотных и высокоточных приложениях.
Отличная мотивация.
Кривая смещения N62.XY20K при нагрузке 10 г при 500 Гц выглядит следующим образом:
Параметры
Model: N62.XY20
Active axis: XY
Travel range(0~120V): ±8μm/axis
ravel range(0~150V): ±10μm/axis
Sensor type: SGS
Aperture size: Ø26mm
Resolution: 1/0.5nm
Linearity: 0.3%F.S.
Repeatability: 0.1%F.S.
Pitch/yaw/roll: <10μrad
Push/pull force: 44/44N
Stiffness in motion direction: X2.2/Y2.2N/μm
Unloaded resonant frequency: X2000/Y2000Hz
Unloaded step time: 1.5/0.7ms
Load capacity: 1kg
El.capacitance: 1.6μF/axis
Material: Steel, Al
Mass: 180g