Линейные пьезоэлектрические двигатели серии N31 оснащены приводом PZT. Линейный ход движения может составлять 25 мм, 50 мм, 100 мм с разрешением до субнанометрового уровня. Дополнительный сервопривод с замкнутым контуром (инкрементный кодер), с более высокой точностью позиционирования. Возможна подвижная поверхность.
Характеристики
• Большое сопротивление
• Автоматическое возвращение после аварии
• Автоматическое обнуление после включения
• Альтернативное цифровое замкнутое кольцо
• Использование износостойких материалов, вакуумная немагнитная совместимость
Применение
• Точное позиционирование промышленного уровня
• Полупроводниковые технологии / испытания
• Проверка кристаллического круга
• литография
• Нанопечатание
• Нанометрия
• Перемещение в сильном магнитном поле и вакууме
Огромное сопротивление.
Линейные пьезоэлектрические двигатели серии N31 могут активно блокировать до 50N, а пассивно удерживать до 60N. Кроме того, при горизонтальном размещении M60 он может выполнять высокоточные движения при нагрузке 10 кг.
Увеличить точность кодера
N31 может быть оснащен инкрементным кодером в качестве замкнутого датчика для повышения точности линейного движения.
Автоблокировка отключения, автоматическое обнуление, автоматическое возвращение
После отключения N31 имеет функцию самоблокировки, которая автоматически меняет положение при повторном включении. При использовании, в случае случайного столкновения, M60 автоматически корректирует положение.
Антифрикционные материалы
Линейные пьезоэлектрические двигатели N31 имеют срок службы более одного километра из высокоизносостойких материалов.
Рекомендуемый пьезоэлектрический контроллер
пьезоэлектрические контроллеры серии E71 специально предназначены для привода линейных пьезоэлектрических двигателей M60. Он управляется цифровым управлением верхней машины, скорость движения может быть отрегулирована, используя метод настройки, близкий к целевому положению.
Параметры
Модель: N31
Ось: X
Интегрированный датчик: инкрементный кодер
Диапазон тактов: 25 мм, 50 мм, 100 мм
Онлайн скорость: 10 мм / с
Разрешение замкнутого цикла: < 10 нм
Разрешение открытого кольца: < 0,1 нм
Толкай / тяга (эффективный): 50N
Поддерживающая сила (пассивная): 60N
Рабочая температура: 0 ~ 50°C
Качество (включая кабель): 565g
Материалы: алюминий, нержавеющая сталь
Длина кабеля: 1.5m