Томский государственный университет (ТГУ) начал производство ключевых химических реагентов, необходимых для развития российской микроэлектроники. В рамках химико-технологического центра начали выпускать чистый бромистый водород и тетраксис (диметиламино) титана (TDMAT), что позволит полностью удовлетворить потребности отечественных компаний в этих веществах.
Чистый бромистый водород: шаг к независимости производства
Особое значение имеет запуск производства чистого бромистого водорода, который используется для очистки кремниевых пластин — основного материала для микрочипов. Ранее этот реагент поставлялся из-за рубежа, но после прекращения поставок российские специалисты сосредоточились на создании собственной технологии его производства. Работы велись с 2023 по 2024 год под руководством Виктора Сачкова.
TDMAT в микроэлектронике и других областях
TDMAT также играет ключевую роль в микроэлектронике, применяясь для нанесения титаново-нитридных покрытий методом химического осаждения из газовой фазы. Кроме того, это соединение востребовано для создания оптических материалов, композитных материалов, изотопов и конструкционных покрытий. Важно отметить, что процесс производства TDMAT был полностью адаптирован под отечественное оборудование и сырьё, что позволяет получать продукт, сопоставимый по качеству с зарубежными аналогами.
Промышленные испытания и старт производства
Проект успешно прошёл промышленные испытания, и первые партии продукции уже отправлены клиентам. Как заявили представители ТГУ, спрос на реагенты оказался значительно выше ожиданий, но университет готов расширить производство в случае необходимости.
Образовательный компонент и подготовка кадров
Особую ценность проекту придаёт его реализация на базе образовательного учреждения. Студенты ТГУ получают уникальную возможность участвовать в реальных производственных процессах, что способствует подготовке высококвалифицированных специалистов, готовых работать с передовыми технологиями. Декан химического факультета отметил, что такой подход позволяет готовить кадры, которые смогут оперативно внедрять инновационные решения.
Междисциплинарный подход и дальнейшие перспективы
Создание нового производства стало возможным благодаря тесному сотрудничеству специалистов в области микроэлектроники и химии. Производственный цех разместился в инженерно-химико-технологическом центре ТГУ, оснащённом всем необходимым оборудованием для масштабного производства реагентов.
Технологическая независимость России
Запуск производства химических компонентов в Томске — важный шаг к технологической независимости России в сфере микроэлектроники, что подтверждает высокий потенциал отечественных разработок и готовность преодолевать вызовы в условиях импортозамещения.
Больше статей читайте в нашем блоге VOOKI: