На базе Инжинирингового химико-технологического центра (ИХТЦ) Томского государственного университета (ТГУ) начато производство особо чистого бромистого водорода и тетракис(диметиламино)титана (TDMAT). Эти соединения помогут удовлетворить потребности российских предприятий, занимающихся производством компонентов для микроэлектроники, пишет ТАСС.
Бромистый водород, используемый для очистки кремниевых пластин, ранее импортировался из-за границы, однако поставки были прекращены после введения санкций. За 2023-2024 годы специалисты ТГУ разработали отечественную технологию его выпуска с использованием только российских реагентов, что обеспечит технологическую независимость производства. Первые партии бромистого водорода уже прошли испытания на отечественных предприятиях.
Кроме того, разработанная технология для синтеза TDMAT является важной для создания сложных электронных устройств, а также используется в производстве полупроводников и других отраслей. Первые партии TDMAT уже направлены российским предприятиям, и с учетом государственной поддержки развития микроэлектроники, спрос на этот продукт значительно возрос.
Эксперты ТГУ уверены, что внедрение технологий производства бромистого водорода и TDMAT будет способствовать созданию качественной российской электроники и ее импортонезависимости.