История эта началась летом 2023-го года в городе Саров, где Мишустин посетил филиал МГУ имени М.В.Ломоносова и институт лазерно-физических исследований.
По итогам той своей поездки Мишустин дал ряд поручений. Так, Минпромторгу и Минэкономразвития было поручено проработать некие предложения «Росатома» по нескольким проектам, в том числе, по проекту создания отечественного рентгеновского литографа и производственных технологий для его использования. Срок исполнения поручений — 30 августа 2023 года.
При этом мне не очень понятно, почему мы не слышали об аналогичном поручении проработать предложения ИФМ РАН? Или ИФМ РАН не давал никаких официальных предложений, и за всех отдувается заведующий отделом многослойной рентгеновской оптики ИФМ РАН Николай Иванович Чхало? )))
Напомню, что незадолго до этого, весной 2023 года, в Сарове прошёл семинар, на котором выступил Николай Иванович Чхало, представив доклад «EUV-литография: принципы, состояние и дорожная карта развития в России». И вот, спустя 3 месяца, какие-то свои предложения появились и у Росатома.
Срок исполнения поручений Мишустина подошёл к концу, Минпромторг и Минэкономразвития проработало предложение Росатома, и в сентябре 2023-го года в СМИ появилась информация о том, что «Росатом», якобы, начал финансирование проекта средствами из своих инвестиционных программ.
На самом же деле, Росатом сначала действительно хотел финансировать, но потом передумал, хотя и выразил готовность присоединиться к проекту при должном его финансировании со стороны Минпромторга. То есть, займёмся, но не как головное предприятие и не за свои деньги. Ибо исключительно сложно. Ну, у Росатома и так много не совсем профильных задач, не будим его за это сильно журить.
На недавний запрос одного из моих читателей о результатах проработки проекта, Росатом в марте 2025-го года выпалил одним предложением:
По результатам детальной проработки, определившей исключительную научно-техническую сложность проекта, в целях консолидации усилий высокотехнологичных организаций Российской Федерации, а также с учетом предложения Минпромторга России об объединении мероприятий по разработке литографического оборудования предложения Госкорпорации «Росатом» по созданию рентгеновского литографа включены в единый проект, государственным заказчиком и координатором которого является Минпромторг России.
Да, нам нужно срочно менять язык деловой переписки. Вот с какой целью человек всунул в одно предложение сразу несколько смысловых частей? Чтобы его хуже поняли? )))
Ладно, понимаем это так: мы сунулись в тему, дали какие-то свои предложения, как мы это себе всё представляли, потом поняли, что компетенций по этой теме у нас нет, и умыли руки. Ну, так это выглядит. Ситуацию подтверждает интервью с Николаем Ивановичем Чхало, появившееся в феврале 2024-го года, где он немного подсветил отношения ИФМ РАН с Росатомом.
Он заметил, что разговоры о литографии и в Курчатовском институте, и в «Росатоме», идут уже второй год, и вначале их приглашали на эти совещания, а потом перестали. Иногда они обращались с, как он говорит, совершенно «детскими» предложениями, и это происходило от того, что люди брались за работу, в которой они не профессионалы и никогда этим не занимались:
При этом они берутся за решение проблемы, которую не решили в США, Японии, и только ASML смогла интегрировать в своем проекте достижения организаций со всего мира и достичь успеха. Смелость наших команд произрастает от неведения масштабов проблемы.
Вообще, очень сильное обвинение, но поспорить с логикой Чхало сложно. Действительно, люди, не сведущие в технических тонкостях и текущем положении дел в научных исследованиях могут считать, что задача проще, чем она есть на самом деле.
В то же время Чхало говорит:
В ГК «Росатом» в ходе обсуждений работ по EUV-литографу неоднократно отмечалась коммерческая выгода проекта и перспективность выхода промышленных литографов, произведенных в России, на международный рынок.
Благодаря ряду инновационных решений ожидается заметное уменьшение стоимости литографа при сохранении основных технических характеристик на уровне ASML.
Два года назад нам ... показалось, что вот наше время пришло и мы не зря боролись. … Что же, будем надеяться, что эти планы осуществятся.
С одной стороны, критика предложений Росатома, а с другой стороны, надежда на то, что планы по созданию рентгеновского литографа осуществятся.
То есть, констатируем — Росатом рентгеновским литографом не занимается и в настоящее время никак в этой теме не участвует. Но, в принципе, может поучаствовать при надлежащем финансировании. Но что же теперь делать Минпромторгу, который является «государственным заказчиком и координатором проекта»? Искать компетентных исполнителей. И он их «нашёл».
Осенью 2024-го года Минпромторг заказал ФПИ (Фонду перспективных исследований) выполнить аванпроект по обоснованности работ первого этапа и всего проекта рентгеновского литографа.
Изначально в Минпромторге рассматривали возможность сразу профинансировать первый этап (т.н. альфа-машину) в размере 3 млрд. рублей, но в итоге не рискнули бросаться в омут с головой и решили перестраховаться.
ФПИ, в свою очередь, обратился к российским научным организациям с предложением реализовать аванпроект «Обоснование технической возможности создания отечественного рентгеновского проекционного литографа» за 10 млн. рублей.
На стратегической сессии обозначились 3 команды: консорциум, возглавляемый ИФМ РАН, МИЭТ и ВНИИЭФ. Но позже ВНИИЭФ так и не подал заявку на выполнение аванпроекта, а предложение МИЭТа вроде как отклонили по ходу подготовки заявки. Так или иначе, но за аванпроект в итоге взялся ИФМ РАН, что, в общем-то, весьма логично.
Аванпроект стартовал 03.03.2025. Он рассчитан на 7 месяцев и предусматривает привлечение организаций, готовых к исполнению его составных частей. Среди участников проекта — ИФМ РАН, ИПФ РАН, ИС РАН, МГТУ им. Н.Э. Баумана, ООО «Поликетон», ООО «Скоростные системы связи».
Результатов аванпроекта ожидаем осенью 2025-го года. По его итогам будет запущен уже большой проект по первому этапу создания рентгеновского литографа. Или не запущен.
Заключение
Вообще, всё началось ещё в 2011 году, когда в рамках программ РАН, грантов РФФИ и государственного контракта с Росатомом в ИФМ РАН впервые в России был создан стенд проекционного нанолитографа с рабочей длиной волны 13,5 нм с расчетным разрешением 30 нм.
Так что опыт сотрудничества ИФМ РАН и Росатома по теме литографа уже был. Но это так, к слову.
На сегодня всё. Ставьте нравлики, подписывайтесь на мой канал и делитесь своим мнением в комментариях. Удачи! :-)