Китай, несмотря на санкции США, может использовать собственное оборудование для производства передовых полупроводников. Так, в компании Shenzhen SiCarrier Industry Machines заявили, что Пекин, лишённый доступа к передовому литографическому оборудованию, теперь может полагаться на свои собственные инструменты для выпуска чипов по нормам 5 нм.
Президент компании SiCarrier Ду Лицзюнь отметил, что, несмотря на санкции, Китай может использовать неоптические технологии для решения проблем в литографии. Компания продемонстрировала широкий ассортимент оборудования на выставке Semicon China, где её стенд стал одним из самых посещаемых.
Одной из альтернатив для Китая может стать многоэтапное нанесение рисунка, где оптическая литография заменяется травлением и осаждением. Это позволит стране наладить производство чипов по нормам 5 нм, несмотря на отсутствие доступа к ультрафиолетовому оборудованию EUV от ASML. SiCarrier уже запатентовала технологию многопроходного формирования рисунка, которая предполагает использование оборудования, работающего в глубоком ультрафиолете (DUV), и печати в четыре прохода.
Компания SiCarrier, основанная в 2021 году, полностью принадлежит государственному инвестиционному фонду из Шэньчжэня. Несмотря на попадание в чёрный список США, её оборудование уже используется китайскими производителями, включая SMIC и Huawei.
