Поскольку микрочипы становятся все более и более «микро-», то кремний необходимо смешивать с более высокими концентрациями фосфора для получения требуемого тока. Производители полупроводников уже приблизились к пределу, за которым традиционные методы больше не будут обеспечивать стабильную работу.
Инженерам тайваньской TSMC — мировому лидеру в производстве полупроводников — пришла в голову светлая мысль: ситуацию спасут микроволновки. Нет, здесь нет намека на то, что из них нужно выкорчевывать чипы. В обычных бытовых микроволновых печах могут образовываться так называемые «стоячие волны», из-за которых пища может нагреваться неравномерно. Так вот, инженеры научились выборочно контролировать места возникновения этих «стоячих волн». Такая точность позволяет не только равномерно подогреть остывший обед, но и правильно активировать легирующие элементы без чрезмерного нагрева или повреждения кремниевого кристалла. Для производства полупроводников эта сверхспособность чрезвычайно важна.