В последние годы, с модернизацией и прогрессом промышленного оборудования и приложений, были выдвинуты более высокие требования к управлению движением, такие как больший ход (уровень мм) и более высокая точность движения (уровень нм). Команда технических специалистов CoreMorrow, ориентированная на применение передовых технологий и в сочетании с их техническими преимуществами, организовала большое количество разработок и испытаний, наконец, добилась технологического прорыва, успешно разработала платформу линейного пьезоэлектрического двигателя.
Линейный пьезоэлектрический двигатель CoreMorrow
Пьезоэлектрический двигатель CoreMorrow приводится в действие пьезокерамикой. Благодаря специальной конструкции механической конструкции линейное микросмещение, создаваемое пьезокерамикой, преобразуется в макроскопическое линейное движение механической плоскости, диапазон составляет до сотен миллиметров, а точность может по-прежнему поддерживать сверхвысокий нанометровый уровень пьезокерамики. керамика.
Введение
Принцип привода линейного пьезоэлектрического двигателя серии CoreMorrow N31 показан на рисунке ниже, на котором показан динамический эффект привода части пьезоэлектрической опоры.
тянуть под разным напряжением, чтобы подвижный стол полз вперед или назад. Координация между каждой парой пьезоэлектрических керамических элементов экспоненциально увеличивает скорость движения линейного пьезоэлектрического двигателя. Кроме того, линейный пьезоэлектрический двигатель с такой конструкцией обеспечивает очень высокое удерживающее усилие, которое более чем в 10 раз больше, чем у обычного пьезоэлектрического двигателя.
Линейный пьезоэлектрический двигатель серии N31 имеет внутренний привод от высокопроизводительного PZT. Диапазон линейного перемещения может составлять 25, 50 или 100 мм, а разрешение может достигать субнанометрового уровня. Доступны серводатчики с обратной связью (инкрементальный энкодер) для высокой точности позиционирования и платформы движения.
N13.25E Линейный пьезоэлектрический двигатель
Диапазон хода 25 мм, с датчиком с обратной связью и платформой движения.
N13.50E Линейный пьезоэлектрический двигатель
Диапазон хода 50 мм, с датчиком с обратной связью и платформой движения.
N13.100E Линейный пьезоэлектрический двигатель
Диапазон хода 100 мм, с датчиком с обратной связью и платформой движения.
Характеристики
• Большое блокирующее усилие
• Автоматическое нулевое положение после включения питания
• Автоматический возврат с обратной связью после случайного прикосновения
• Дополнительный датчик решетки
• Износостойкий материал, не магнитится к вакууму
• Опционально 2 или 3 оси
Приложения
• Промышленное точное позиционирование
• Полупроводниковая технология/тестирование
• Тестирование пластин
• Литография
• Нано-отпечаток
• Нанометрия
• Работа в сильных магнитных полях и вакууме
Испытание линейного пьезоэлектрического двигателя на перемещение
Большая блокирующая сила
Линейные пьезоэлектрические двигатели серии N31 имеют активное толкающее и тянущее усилие 30 Н и пассивное удерживающее усилие 40 Н, при горизонтальном размещении они могут осуществлять высокоточное движение под нагрузкой 5 кг.
Дополнительная мобильная платформа
Линейный пьезоэлектрический двигатель серии N31 может быть оснащен мобильной платформой в соответствии с требованиями применения. На поверхности мобильной платформы предусмотрены резьбовые отверстия для монтажа массива.
Износостойкий материал
Линейные пьезоэлектрические двигатели серии N31 изготовлены из материалов повышенной износостойкости со сроком службы более 1000 метров.
Инкрементальный энкодер высокой точности
Линейные пьезоэлектрические двигатели серии N31 могут быть оснащены инкрементным энкодером в качестве датчика с обратной связью, что может повысить точность линейного движения, разрешение <10 нм.
Самоблокировка после отключения питания
Линейные пьезоэлектрические двигатели серии N31 могут самоблокироваться после отключения питания и автоматически возвращаются в нулевое положение после повторного включения питания. Во время работы, когда ход изменяется из-за внешних сил, N31 автоматически настраивается для поддержания точности положения управления.
Технические данные
Модель: N31
Активные оси: X
Встроенный датчик: инкрементальный энкодер
Диапазон хода: 25, 50 или 100 мм
Ограничение скорости: 10 мм/с
Разрешение (замкнутый контур): <10 нм
Разрешение (без обратной связи): <0,1 нм
Линейность: 1 мкм
Повторяемость: 1 мкм
Толкающее/тянущее усилие (положительное): 30 Н
Удерживающая сила (пассивная): 40 Н
Максимальная нагрузка (горизонтальное направление): 5 кг
Рабочая температура: 0~50℃
Масса (с кабелем): 565~715 г
Материал: Ал,Сталь
Длина кабеля: 1,5 м
Контроллер пьезодвигателя
Пьезоконтроллер серии E71 специально разработан для управления линейными пьезоэлектрическими двигателями N31. Он управляется главным компьютером, а скорость движения пьезоэлектрического двигателя регулируется.
E71 Контроллер пьезодвигателя
Технические данные
Модель: E71
Управление: сервоуправление/разомкнутый контур
Источник питания: 24В постоянного тока/4А (20В~30В)
Статическая потребляемая мощность: <10 Вт
Цифро-аналоговый преобразователь: 32 бит, 168 МГц, цифро-аналоговый
Цифро-аналоговый преобразователь: 16 бит
Скорость передачи данных последовательного порта: 115200
Интерфейс связи: USB, RS-422, RS-232
Пиковый ток: 1А
Средний ток: 75 мА
Пульсация: 10 мВ пик-пик (при 2,2 мкФ)
Номинальная выходная мощность: 50 Вт
Диапазон рабочих температур: 0~50℃
Выходной ток короткого замыкания: 60 мА
Размер: 162,5×162×45,5 мм^3
Вес: 1,3 кг