Технология интерферометрии представляет собой технологию измерения, основанную на принципе интерференции световых волн. В области современных прецизионных измерений многие измерительные задачи решаются с помощью интерференции. Для решения многих измерительных задач оптическая интерферометрия в настоящее время является единственным возможным методом. По сравнению с общей технологией измерения оптических изображений, интерферометрия имеет характеристики большого диапазона, высокой чувствительности и высокой точности. С непрерывным прогрессом науки и техники, особенно с появлением лазерных технологий и их применением в области интерферометрии, технология интерферометрии была значительно улучшена с точки зрения диапазона, разрешения и точности измерений. От классических оптических методов до адаптивной оптической инженерии области применения современных методов интерферометрии постоянно расширяются.
Современные датчики изображений и компьютерные технологии также дали огромный толчок развитию интерферометрии, которая открыла новую эру в считывании и обработке интерферометрических изображений.
Интерферометр Физо
Интерферометр толщины Физо - это тип широко используемого интерферометра, в основном используемый для измерения формы поверхности оптической плоскости, сферической и асферической поверхности, измерения сферического радиуса кривизны и измерения качества передачи волнового фронта различных линз, призм и систем линз и оптических системы.
Принцип интерференции показан на рисунке. Свет, излучаемый монохроматическим источником света, собирается линзой на круглой апертурной диафрагме, а диафрагма расположена в фокальной плоскости линзы коллиматорного трубчатого объектива. Параллельный пучок, выходящий из линзы коллимирующего объектива, отражается обратно от нижней плоскости эталонной плоскости с клином и верхней плоскости измеряемой плоскости, а затем проходит через линзу коллимирующего объектива и линзу объектива, образуя небольшое отверстие круговая апертурная диафрагма на фокальной плоскости окуляра двух изображений. Отрегулируйте стол привода микроперемещения, где находится измеряемая деталь, чтобы два изображения совпадали. Если вместо окуляра используется ПЗС-камера, интерференционные полосы могут быть собраны и обработаны компьютерной системой обработки изображений.
Интерферометр Физо имеет два типа: плоский и сферический: первый состоит из светоделителя, коллимирующего объектива и стандартной плоскости, а последний состоит из светоделителя, объектива с конечным сопряженным расстоянием и стандартной сферической поверхности. Монохроматический луч частично отражается на стандартной плоскости или стандартной сфере в качестве опорного луча; частично передаваемый и проходящий через ИУ луч обнаружения. Луч обнаружения самоколлимируется и возвращается, чтобы совпасть с опорным лучом, чтобы сформировать интерференционные полосы одинаковой толщины. Плоский интерферометр Физо может определять форму и однородность поверхности пластины или призмы. Сферическая форма и ее радиус кривизны могут быть обнаружены сферическим интерферометром Физо, точность измерения последнего составляет около 1 мкм; он также может обнаруживать аберрацию волнового фронта линз с бесконечным и конечным сопряженным расстоянием.
CoreMorrow Пьезо фазовращатель
В последние годы, с прогрессом и развитием цифровых технологий и технологий получения изображений, постоянно появлялись различные новые типы лазерных интерферометров Fiseau, а отечественные и зарубежные компании также выпускали соответствующие продукты. Сочетая свои собственные технические преимущества и возможности НИОКР в области фазосдвигающих приводов с микроперемещением, CoreMorrow разработала множество продуктов для исследований и разработок в области интерферометрических измерений. По сравнению с изделиями с моторным и электромагнитным приводом, пьезоэлектрические механизмы микроперемещения имеют небольшие размеры и простую конструкцию. Высокая точность, высокое разрешение (уровень нм), хорошая жесткость, простота управления и низкое энергопотребление, отсутствие нагрева, отсутствие шума и так далее.
Пьезоэлектрические фазовращатели серии CoreMorrow P77 специально разработаны для оптического обнаружения фазовращателей. Испытуемый диапазон перемещения может составлять до 100 мкм, а грузоподъемность может достигать 25 кг. Он подходит для оптического оборудования обнаружения различных линз и линз. Его можно настроить в соответствии с требованиями заказчика к оборудованию.