OLED-микродисплеи на кремниевой подложке имеют лучшие оптические характеристики, меньшую потребляемую мощность, меньшую стоимость, меньшие габариты и вес. Технология OLED-микродисплея eMagin объявила о начале производства микродисплеев с OLED на кремнии в июле 2000 г. Компания приобрела лицензию на технологию OLED у фирмы Eastman Kodak Company. Активно-матричный монолитный OLED-дисплей выполнен на кремниевой пластине по технологии КМОП (3,3/4 В, 0,35 мкм) с четырьмя слоями металлизации и размерами одного чипа (кристалла микродисплея) 16,28 Х 14,2 мм. На последнем расположено 10 млн. транзисторов. Поперечное сечение OLED-структуры показано на рис. 2. Металл с высокой энергией выхода осаждается на КМОП-подложку в качестве анода. Тонкий слой фталоцианина меди (CuPc) обеспечивает инжекцию дырок через низкий энергетический барьер (менее 5 эВ). Затем осаждается плёнка нафтафенилбензидина (NPB, naphtha-phenyl-benzidene) для того, чтобы образовать слой транспортировки дырок (HTL, hole transp