P60.Z250 - это одномерная Z - мобильная пьезоэлектрическая нанолокационная платформа. Внутри платформы используется гибкий шарнирный направляющий механизм без трения и интегрированная конструкция. Используя принцип привода механического усиления, встроенная высокопроизводительная пьезоэлектрическая керамика может достигать смещения 250 мкм в направлении Z. пьезоэлектрическая станция позиционирования имеет очень высокую точность управления, разрешение и стабильность, может достигать нанометрового уровня, время стабилизации позиционирования - миллисекундный уровень. Платформа имеет необязательную версию вакуумной совместимости, компоненты платформы подходят для вакуумных приложений, уровень вакуума может достигать 1×10 ^ (- 5) mbar.
Закрытая версия с высокой точностью определения местоположения
Версия P60.Z250 имеет открытый и закрытый циклы. В закрытой версии используются высокоточные датчики для обнаружения местоположения и обратной связи в реальном времени. Контроллеры с замкнутым контуром могут быть настроены для точного регулирования смещения в реальном времени, достижения точного управления позиционированием на наноуровне и отличной линейности, движения и стабильности.
Характеристики
• Одномерное движение Z
• Поездка до 250 мкм
• Мощность до 1 кг
• Дополнительные версии вакуумной совместимости
Применение
• Измерение / помехи / сканирование
• Нано - позиционирование
• Тестирование CD - дисков
• Полупроводниковые технологии
• Проверка качества
• Микрообработка / точное управление
Технические параметры
Модель: P60.Z250
Ось движения: Z
Номинальный диапазон хода (0 ~ 120V): 200 мкм
Диапазон хода (0 ~ 150V): 250 мкм
Тип датчика: SGS
Разрешение замкнутого / открытого кольца: 10 / 3 нм
Линия замкнутого цикла: 0,4% F.S.
Точность повторного позиционирования: 0,1% F.S.
резонансная частота холостого хода: 260 Гц
Грузоподъемность: 1 кг
Электростатическая мощность: 21,6 мкФ
Диапазон рабочих температур: 20 - 80°C
Материалы: сталь, алюминий
Вес (исключая кабель): 0,4 кг
Вакуум: 1×10 ^ (- 5) mbar
Размер (длина х ширина х высота): 80×60×20 мм
Длина выхода: 1.5m