Термомассовые расходомеры широко используются в различных промышленных и исследовательских применениях для точного измерения расхода гелия. Эти расходомеры основаны на принципе теплопроводности, где нагретый элемент используется для измерения теплопередачи между текущим газом и датчиком. Одним из основных применений термомассовых расходомеров для измерения расхода гелия является полупроводниковая промышленность. Гелий используется в качестве охлаждающей жидкости при производстве полупроводников, и точное измерение расхода гелия необходимо для поддержания оптимальной температуры и обеспечения постоянного качества продукции. Термомассовые расходомеры хорошо подходят для этих целей, поскольку они могут точно измерять малые расходы и имеют высокий коэффициент снижения, что делает их идеальными для использования на предприятиях по производству полупроводников. Термомассовые расходомеры также используются в криогенных исследованиях для точного измерения расхода гелия. Гелий является широко и