P12B.XYZ100 пьезоэлектрический сканер представляет собой 3D - параллельный сканер с сквозными отверстиями в центре стола. Внутри используется гибкий шарнирный направляющий механизм без трения. Моделирование конечных элементов используется для оптимизации структуры. Он имеет высокую точность наведения, высокую жесткость, большую нагрузку, отсутствие износа и другие характеристики.
Платформа может быть оснащена высокопроизводительным датчиком для обратной связи с полным замкнутым контуром для достижения точности повторного позиционирования 0,05% F.S. Диапазон сканирования пьезоэлектрической сканирующей станции P12B.XYZ100 может достигать 100 мкм / ось с высокой точностью сканирования с замкнутым контуром и без рыскания при движении по прямой. Продукт широко используется в измерениях поверхности, микровизуализации и других областях применения, а также в вакуумных приложениях для удовлетворения потребностей клиентов в вакуумных приложениях.
Характеристики
• Трехмерное движение XYZ
• такт 100 мкм / ось
• Централизованное отверстие Ö10 мм
• Применяется в вакууме
Поле приложения
• Сканирующий микроскоп / измерение поверхности
• Тестирование с помощью конфокального микроскопа / полупроводника
• Определение местоположения / обработка изображений и стабилизация
• Оптическое позиционирование / оптическое сканирование
кривая смещения напряжения
Технические параметры
Модель: P12B.XYZ100
Спортивная ось: XYZ
Диапазон хода (0 ~ 150V): 100 мкм / ось
Тип датчика: SGS
Центральное сквозное отверстие: Ö10mm
Внешний диаметр: Ö49mm
Электростатическая мощность: 3,6 мкФ / ось
Грузоподъемность: 0,2 кг
Диапазон рабочих температур: 20 - 80°C
Материалы: сталь, алюминий
Размер (высота): 38,5 мм
Длина выхода: 1.5m
Соединение датчика / напряжения: LEMO