Этот ящик на картинке демонстрационный образец литографа имеется в ИФМ РАН аж с 2011 года.
В аннотации ИФМ РАН в 2011 году было написано:
«Впервые в России создан стенд проекционного нанолитографа с рабочей длиной волны 13,5 нм и расчетным разрешением 30 нм. Изображение наноструктуры с уменьшением 1:5 проецируется на фоторезисте с помощью двухзеркального асферического объектива. Создание стенда свидетельствует о наличии в России ключевых технологий, позволяющих разрабатывать и производить литографическое оборудование, которое в ближайшие годы станет основным при производстве чипов с топологическими нормами 8-22 нм.»
К сожалению сегодня на сайте ИФМ РАН самый старый архив 2016 года. Так что же случилось в 2011 году, что работы были остановлены? Так вот, ничего и не случилось.
История Ангстрема-Т началась в 2007 году, когда Global Foundries (тогда это был еще завод AMD – Fab36, Дрезден), начал переход на 300 мм пластины и продал все оборудование и технологии на 200 мм Ангстрему-Т: 130 нм (уровень AMD Athlon MP Thoroughbred). Но дальше что-то пошло не так. Оборудование застряло на складе в Роттердам
В 2011 году, это было уже притчей во языцех – как они продали оборудование в российскую компанию, но оно, вместо того, чтобы использоваться, уже 4 года гниет на складе.
Как я понял, купить оборудование было можно, а вот привезти в Россию - нельзя! После того, как показали, что у нас есть своё, стало можно и в 2014 таки привезли. ASML были готовы продать и более свежее. Только плати и покупай. Никакого смысла вкладывать миллиарды не было! Но за возможность доставки в Россию ASML не отвечает!
И до 2022 никаких особых проблем не было. Не было необходимости даже запускать это старое оборудование. Необходимые военным Российские процессоры был готов производить Тайвань. А все остальные работали (да и работают) на американских процессорах Intel и AMD. А в марте 2022 Тайвань, опасаясь вторичных санкций отказался поставлять процессоры в Россию. Вот с этого момента Россия и озаботилась собственным производством станков для производства процессоров.
И что, у нас исчезли из продажи процессоры? Да нет, не исчезли! Серый импорт пошел! И даже совсем светло-светло-серый! Тайваньская ASUS в ноябре зарегистрировала свои видеокарты в ЕАЭС для продажи в Казахстан. Казахстан под санкции не попадает. Майкрософт для казахских русскоязычных пользователей открыла скачивание Windows в сегменте .ru.
Думаю, что и все лицензии будут теперь для русских жителей Казахстана!
Но для военных это не подходит. Сейчас в России в промышленных масштабах могут работать с микроструктурами только более 65 нанометров (в основном 90 нм и более). Это в том числе и тот самый, купленный ещё Чубайсом в 2007 году станок. После модификации.
В Институте прикладной физики Российской академии наук (ИПФ РАН) ведётся разработка первой отечественной установки литографии для производства микроэлектроники по современным технологическим процессам. Это как всегда. "Новое - это хорошо забытое старое". Сейчас создан демонстрационный образец, который разработчики называют «прототип прототипа». На этой установке получены отдельные изображения на подложках с разрешением до предельных 7 нм. Естественно, не на пустом месте создан, а на основе той установки 2011 года.
В 2024 году должна быть готова «альфа-машина». Уже с этого момента установка станет рабочим оборудованием и будет рассчитана на проведение полного цикла операций. Однако упор на этом этапе будет сделан не на высокую скорость её работы или разрешение, а на полноценную реализацию всех систем. Однако и этого должно быть достаточно, чтобы разработка стала привлекательной для инвесторов и фабрик, особенно с учётом конкурентной стоимости самой установки и её обслуживания. Это машина для единичного производства. Для кустарей, а не для поточных фабрик. Но с этого этапа её можно отдавать в частные руки. Почему? Да потому, что для хотя бы мелкосерийного производства понадобятся огромные вложения. А на этих объемах прибыльными они не станут. Надо как-то исхитряться! А государство этого просто не умеет. Олигархи умеют, а государство физически не может! Это уже второй этап. На втором этапе в 2026 году появится «бета-машина».
А олигархам, в качестве приманки, - сочная "морковка". Кто имеет мелкосерийное производство, сможет развернуть его в высокодоходное массовое. Если сумеет сделать процессоры дешевле тайваньских. Но ноу-хау достанется государству. Производство цехов для массового производства процессоров крупносерийным и прибыльным скорее всего не будет никогда. Из десятка олигархов, владельцев мелкосерийного производства, выиграть у тайваньской компании сможет максимум один, остальные проиграют. Останутся с убытками. Ну и что? Нам олигархов что-ли жалеть? Это их деньги, а не наши - государственные! Но это всё не раньше 2026 года. Но государство поможет своим олигархам научными разработками. Российский литограф получит более мощный источник излучения, улучшенные системы позиционирования и подачи, станет работать быстро и точно. Вот только наука это дело тонкое. Может получится к 2028 году, а может и нет. А может получится с китайцами скооперироваться. В ASML, кстати, и Россия участвовала.
Хотя может получиться как и с ASML или Siemens, купить можно, а привезти нельзя! Получится своё сделать, или опять лазейку найдем, как думаете?
