Серия S54 представляет собой пьезо наклонение наклона с помощью центрального отверстия и двумерного движения оси θx θy. Внутренний гибкий шарнирный механизм оптимизируется с помощью анализа конечных элементов, так что его угловое отклонение невелико, а скорость отклика быстра. Пьезо керамический привод используется для достижения диапазона отклонения ± 1MRAD и разрешения до 0,05 мкР. Датчик с замкнутым контуром можно настроить для обеспечения точности повторного позиционирования 0,1% F.S.
S54 имеет тонкое столовое тело с толщиной всего 20 мм. Центральное через отверстие 80 × 80 мм делает его подходящим для таких применений, как регулировка, измерение и позиционирование с точностью подметочного радиана.
Функции
• θx, θy наклоновое движение
• Дополнительная открытая петля и закрытая петля
• Aperature 80 × 80 мм
• Высокое разрешение
• Подходит для калибровки датчика датчика ускорения/угловой скорости
Кривая смещения напряжения
Применение
Благодаря своей ультратонкой форме и прогибе высокой устойчивости пьезо наклона S54 была применена партиями для комбинирования лазерного луча и других применений.
Пакетное видео тестирование продукта
Технический параметр
Модель: S54.T2
Путь движения: θx, θy
Угол отклонения (0 ~ 120 В): ± 0,8 МРАД/Ось (≈ ± 165 ")
Угол отклонения (0 ~ 150 В): ± 1MRAD/OXIS (≈ ± 200 ")
Датчик закрытого петли: SGS
Разрешение с замкнутой петлей: 0,25 мкР (≈0,05 ")
Разрешение с открытой петлей: 0,05 мкР (≈0,01 ")
Линейность закрытой петли: 0,2%F.S.
Повторная точность повторения цикла: 0,1%F.S.
Проталкивание/силу тяги: 40/8n
Жесткость направления движения: 0,5N/мкм
Частота резонанса без нагрузки: x450/y400hz
Закрытый/открытый цикл без нагрузки Время: 20/3,5 мс
Частота работы с замкнутым циклом (-3 дБ): 110 Гц (без нагрузки)
Емкость переноса: 1 кг
Рабочий диапазон температуры: -20 ~ 80 ℃
Электростатическая способность: 3,6 мкф/ось
Материал: алюминий, сталь
Вес: 510G
Длина исходящей линии: 1,5 м