Тепловые акселерометры MXC6655 компании MEMSIC базируются на собственной технологии, где в качестве инерционной массы используется нагреваемый газ. Эти устройства не содержат движущихся деталей и, таким образом, устраняются проблемы с надежностью и повторяемостью в полевых условиях, характерные для других технологий. Например, отсутствует механический резонанс, гистерезис, «залипание», они невосприимчивы к вибрациям.
Тепловой MEMS-акселерометр MXC6655, изготавливаемый на основе стандартного процесса CMOS 0.18 мкм, включает датчик и электронику в одном кристалле, который герметично размещается в корпусе LGA12.
В центре кристалла расположен нагревательный элемент, подвешенный над полостью. По краям размещены термопреобразователи. В неподвижном положении корпуса нагретый газ расположен над нагревателем симметрично, а при ускорении нагретые молекулы газа отклоняются от центра. Разница температур на термодатчиках и напряжение между их выходами прямо пропорциональны ускорению (рис. 1). Встроенный температурный датчик позволяет компенсировать зависимость показаний от изменения окружающей температуры. Диапазон рабочих температур акселерометра от -40 °C до 85 °C.
Цифровой интерфейс I2C поддерживает быстрый режим работы (400 кГц) и выдает данные измерения ускорения по 3 осям в цифровом 12-битном формате. Выход прерывания (INT) предназначен для обнаружения поворота и встряхивания по осям X/Y. Устройство также имеет режим отключения питания, который активируется через интерфейс I2C.
Применение:
- Сотовые телефоны;
- Планшеты;
- Компьютерная периферия;
- ЖК-проекторы;
- Шагомеры;
- MP3/MP4;
- Джойстики;
- Утюги;
- Вентиляторы
Особенности MXC6655:
- Низкая стоимость;
- Передовая технология;
- Запатентованная технология MEMSIC без подвижных элементов;
- Устойчивость к ударам более 200000 g;
- Диапазон измерения ускорений: ±2, ±4, ±8 g;
- 12-битный выходной сигнал для осей X, Y и Z;
- 8-битный температурный выход;
- Прерывания при обнаружении встряхивания;
- Программируемый порог обнаружения встряхивания;
- Интерфейс: I2C FAST (≤400 кГц);
- Напряжение питания: 1.8...3.6 В;
- Ток потребления в режиме ожидания: 1.3 мА;
- Ток потребления в режиме power-down: 0.8 мкА;
- 1.8 В совместимые I/O;
- Плотность шума: 1 (X, Y) mg/√Hz, 2 (Z) mg/√Hz;
- Самодиагностика;
- Режим включения/выключения питания;
- Рабочая температура: -40…85 °С;
- Корпус: LGA12, 2х2х1 мм
Производители: MEMSIC
Разделы: Акселерометры
